由華愛色譜參與起草的電子特氣領域中的兩項國家標準：GB/T 42720-2023《電子特氣 六氯乙硅烷》和GB/T 42721-2023  《電子特氣 一氧化氮》于近日正式發(fā)布。

GB/T 42720-2023《電子特氣 六氯乙硅烷》規(guī)定了六氯乙硅烷的技術要求、采樣、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存及安全信息的要求。該標準適用于由生產多晶硅副產的六氯乙硅烷經純化制備的電子用六氯乙硅烷。

GB/T 42721-2023   《電子特氣 一氧化氮》規(guī)定了一氧化氮的技術要求、采樣、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存及安全信息的要求。該標準適用于集成電路等電子工業(yè)制造中使用的電子用一氧化氮。