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            目錄:深圳市科晶智達(dá)科技有限公司>>清洗系列>>等離子清洗機(jī)>> GSL-1100X-PJF 等離子表面處理儀

            GSL-1100X-PJF 等離子表面處理儀
            • GSL-1100X-PJF 等離子表面處理儀
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            參考價(jià) 面議
            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            參考價(jià) 面議
            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            • 品牌 其他品牌
            • 型號(hào)
            • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
            • 所在地 深圳市
            屬性

            產(chǎn)地類別:國(guó)產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域:電氣

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            更新時(shí)間:2025-02-17 12:09:00瀏覽次數(shù):1176評(píng)價(jià)

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            GSL-1100X-PJF 等離子表面處理儀是一款緊湊的大氣離子表面處理噴射系統(tǒng),主要由射頻發(fā)生器、離子束頭組成。噴射的離子束流能在較低的溫度和沒有真空條件下,迅速活化和清理材料表面。例如單晶片、光學(xué)元件、塑料等廣泛的材料。 為了獲得高質(zhì)量的外延薄膜或者光學(xué)涂層,預(yù)*行表面處理可以得到顯著的效果。

            GSL-1100X-PJF 等離子表面處理儀是等離子槍和可控制的樣品臺(tái)結(jié)合在一起的產(chǎn)品,有自動(dòng)控制的樣品臺(tái),就可使等離子槍按設(shè)定程序?qū)悠繁砻孢M(jìn)行更均勻涂覆和處理,保證處理樣品表面的一致性和均勻性。此系統(tǒng)是由RF發(fā)生器、氣體傳輸管、等離子槍頭和X-Y移動(dòng)的工作臺(tái)(帶有真空吸盤和控制盒)。此系統(tǒng)產(chǎn)生等離子束可在非真空和低溫狀態(tài)下活化和清洗樣品表面,可處理的樣品有單晶片,光學(xué)元件和塑料等,也可在常壓下進(jìn)行等離子增強(qiáng)氣相沉積。

             性能指標(biāo)和基本配置
            主要參數(shù)

            ● 工作環(huán)境:溫度 < 42°C,濕度 ≤ 40℃RH
            ● 輸入電源:208 V- 240VAC, 50Hz, < 1000W
            ● 等離子體工作壓力

            RF發(fā)生器

            ● 輸出頻率:20-23kHz , 25KV
            ● 等離子槍頭:儀器中包括兩種等離子槍頭:圓形頭:10-12mm,矩形頭:15-18mm
             11

            輸入氣體氣壓,工作氣體

            ● 40 PSI min.(0.055 Mpa)
            ● Air, N2, Ar, He 或混合氣體(不可通入易燃易爆氣體 )

            樣品臺(tái)和控制柜

            ● 配有可在X-Y軸移動(dòng)的樣品臺(tái),通過步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng),采用SBC控制盒控制
            ● 可手動(dòng)調(diào)節(jié)樣品臺(tái)在Z軸方向上的移動(dòng)距離
            ● 控制盒采用LCD顯示,可設(shè)置其等離子槍頭的掃描程序。
            ● 最大掃描范圍:8" x 9"
            ● 一個(gè)直徑為4"的真空吸盤安裝在X-Y樣品臺(tái)上,可吸住直徑為6"的樣品。
            ● 配有一真空泵,可與真空吸盤相連接
            ● 整個(gè)系統(tǒng)安裝在一移動(dòng)架上(600x600x 800Lmm)
            ● 可選:可選加熱樣品臺(tái)(最高溫度可加熱到500℃),也可將設(shè)備放置在手套箱中操作。
             1   111

            外形尺寸

            處理樣品臺(tái)尺寸:560mm L x483mm W x 609mm H
            等離子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H
            控制盒尺寸:330mm L x 305mm W x 152mm H

            凈重

            55kg

            文獻(xiàn)

            請(qǐng)點(diǎn)擊鏈接以了解更多關(guān)于AP-PECVD應(yīng)用的信息:常壓等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(AP-PE-CVD)用于在低溫下生長(zhǎng)薄膜。

            質(zhì)量認(rèn)證

            所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證,若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。
            1

            保修期一年保修,終身技術(shù)支持。
            特別提示:
            1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
            2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
            點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。

            GSL-1100X-PJF 等離子表面處理儀

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