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直線光柵尺測量直線軸位置，測量期間沒有任何其它機械傳動件。因此，它能消除以下潛在誤差源： • 滾珠絲杠溫度特性導(dǎo)致的定位誤差

• 反向誤差 • 滾珠絲杠螺距誤差導(dǎo)致的運動特性誤差因此，直線光柵尺是高精度定位和高速加工機床*的基礎(chǔ)技術(shù)手段。敞開式直線光柵尺設(shè)計用于超高測量精度的機器和系統(tǒng)。

典型應(yīng)用包括：

• 半導(dǎo)體工業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備

• PCB電路板組裝機

• 超精密機床，例如加工光學(xué)器件的金剛石刀具，加工磁盤的端面車床和加工鐵氧體元件的磨床

• 高精度機床

• 測量機和比較儀、測量顯微鏡和其它精密測量設(shè)備

• 直驅(qū)電機機械結(jié)構(gòu) 敞開式直線光柵尺包括光柵尺或鋼光柵尺帶和讀數(shù)頭，光柵尺和讀數(shù)頭間無機械接觸。敞開式直線光柵尺的光柵尺帶固定在安裝面上。因此，安裝面的平面度是高精度直線光柵尺應(yīng)用的基礎(chǔ)條件。

測量原理測量基準

海德漢公司的光學(xué)掃描光柵尺或編碼器的測量基準都是周期刻線－光柵。這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。大長度測量用的光柵尺帶的基體為鋼帶。海德漢公司用以下特別開發(fā)的光刻工藝制造精密光柵。

• AURODUR：在鍍金鋼帶上蝕刻線條，典型柵距40 µm • METALLUR：抗污染的鍍金層金屬線，典型柵距20 µm

• DIADUR：玻璃基體的超硬鉻線（典型柵距20 µm）或玻璃基體的三維鉻線格柵（典型柵距8 µm）

• SUPRADUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵線條；*抗污能力；典型柵距不超過8 µm

• OPTODUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵線條，超高反光性能，典型柵距不超過 2 µm 這種方法除了能刻制柵距非常小的光柵外，而且刻制的光柵線條邊緣清晰、均勻。再加上光電掃描法，這些邊緣清晰的刻線是輸出高質(zhì)量信號的關(guān)鍵。母版光柵采用海德漢公司定制的精密刻線機制造。

heidenhain海德漢光柵尺LIP 382精度0.001µm

LIP 372，LIP 382 超高精度增量式直線光柵尺

• 測量步距達0.001 µm（1 nm）

• 測量基準用螺栓固定

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