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美國派克手動或氣動930 系列隔膜閥

派克930系列1-1 / 8英寸不銹鋼閥體隔膜閥提供優(yōu)異的泄漏完整性，高循環(huán)使用壽命和低顆粒發(fā)生，非常適用于UHP半導(dǎo)體應(yīng)用。

930系列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設(shè)計(jì)，可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和截留，減少半導(dǎo)體應(yīng)用中*的工藝污染。該系列閥門的嚴(yán)格設(shè)計(jì)，控制閥座和隔膜應(yīng)力，以提供穩(wěn)定和免維護(hù)的使用壽命。930系列閥門潤濕部件由特種金屬制成，提供的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體是內(nèi)部采用電拋光處理的Vericlean™ 316L不銹鋼材質(zhì)。 Vericlean™ 是派克的UHP級不銹鋼。隔膜是高強(qiáng)度鈷基合金材質(zhì)。 930系列還提供聚三氟氯乙烯（PCTFE），聚醚醚酮樹脂（PEEK®）和聚酰亞胺（Vespel®）材質(zhì)的閥座，可使930閥門與多種工藝流體相兼容。這些材料結(jié)合930系列嚴(yán)格的設(shè)計(jì)特點(diǎn)，給予了930系列產(chǎn)品在入口壓力高達(dá)300 psig時(shí)的耐腐蝕性和更大循環(huán)使用壽命。

930系列氣動閥可以配置限位開關(guān)或接近開關(guān)，用以提供開 - 關(guān)位置指示。還有多種閥體構(gòu)造可選，包括930Y系列（Y型閥）和SM930系列（面板安裝）。

930系列閥門上內(nèi)部（閥座）密封件和密封外的金屬部件均通過質(zhì)譜儀進(jìn)行氦氣泄露測試，以適應(yīng)在苛刻的UHP應(yīng)用中，保有其性能和穩(wěn)定性。