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硅片檢測顯微鏡
高精度粗微動調焦機構
采用底手位粗微調同軸調焦機構，左右側均可調節(jié)，微調精度高，手動調節(jié)簡單方便，用戶能夠輕松得到清晰舒適的圖像。粗調行程為38mm，微調精度0.002。
大尺寸機械移動平臺
采用180×155mm的大尺寸平臺，右手位設置，符合常規(guī)人群操作習慣。用戶操作過程中，便于調焦機構與平臺移動的操作切換，為用戶提供更加高效的工作環(huán)境。
落射柯拉照明系統(tǒng)
采用180×155mm的大尺寸平臺，右手位設置，符合常規(guī)人群操作習慣。用戶操作過程中，便于調焦機構與平臺移動的操作切換，為用戶提供更加高效的工作環(huán)境。
硅片檢測顯微鏡參數
光學系統(tǒng)
有限遠色差光學系統(tǒng)
觀察筒
45°傾斜，三目觀察筒，瞳距調節(jié)范圍:54-75mm，分光比：80:20
目鏡
高眼點大視野平場目鏡PL10X/18mm，可帶測微尺
高眼點大視野目鏡WF15X/13mm，可帶測微尺
高眼點大視野目鏡WF20X/10mm，可帶測微尺
物鏡
長工作距平場消色差金相物鏡（5X、10X、20X、50X 、100X）
轉換器
內定位四孔轉換器
內定位五孔轉換器
調焦機構
低手位粗微調同軸調焦機構，粗動每轉行程38 mm；微調精度0.02mm
載物臺
三層機械移動平臺，面積180mmX155mm，右手低手位控制，行程：75mm×40mm
落射照明系統(tǒng)
落射式柯拉照明系統(tǒng)，帶可變孔徑光欄和中心可調視場光欄，自適應寬電壓100V-240V，單顆5W 暖色LED燈，光強連續(xù)可調
落射式柯拉照明系統(tǒng)，帶可變孔徑光欄和中心可調視場光欄，自適應寬電壓100V-240V，6V30W鹵素燈，光強連續(xù)可調
攝影攝像
0.5X/1X攝像接筒，C型接口，可調焦
其他
起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，360°旋轉式檢偏鏡插板；濾色片組；高精度測微尺
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