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（一）產(chǎn)品介紹

FS-Pro 半導體參數(shù)測試系統(tǒng)是一款功能全面、配置靈活的半導體器件電學特性分析設(shè)備，在一個系統(tǒng)中實現(xiàn)了電流電壓 (IV) 測試、電容電壓 (CV) 測試、脈沖式 IV 測試、任意線性波形發(fā)生與測量、高速時域信號釆集以及低頻噪聲測試能力。幾乎所有半導體器件的低頻特性表征都可以在 FS-Pro 測試系統(tǒng)中完成。其全面而強大的參數(shù)測試分析能力極大地加速了半導體器件與工藝的的研發(fā)和評估進程。并可與概倫 9812 系列噪聲測試系統(tǒng)無縫集成，其快速 DC 測試能力進一步提升了 9812 系列產(chǎn)品的噪聲測試效率。

FS-Pro 釆用工業(yè)通用的 PXI 模塊化硬件架構(gòu)，系統(tǒng)擴展性強，還支持多通道并行測試，可進一步提升測試效率。系統(tǒng)內(nèi)置專業(yè)測試軟件 LabExpress 為用戶提供了豐富的測試預設(shè)和強大的測試功能，可實現(xiàn)非常友好的用戶即插即用體驗。

FS-Pro 可廣泛應用于各種半導體器件、LED 材料、二維材料器件、金屬材料、新型*材料與器件測試等。

基于在產(chǎn)線測試與科研應用方面的優(yōu)異表現(xiàn)，F(xiàn)S-Pro 不僅被眾多芯片設(shè)計公司和代工廠、IDM 公司釆用，其全面的測試能力更在科研學術(shù)界受到了廣泛關(guān)注和認可，目前已被數(shù)十所國內(nèi)外高校及科學研究機構(gòu)所選用。

（二）產(chǎn)品優(yōu)勢：

一體化設(shè)備

- 單機可采集高精度 IV、CV、脈沖 IV 和瞬態(tài) IV 采樣及 1/f 噪聲測試所有參數(shù)

- 無需切換電纜或探頭連接即可提供完整的低頻參數(shù)提取功能

寬電壓電流輸出范圍、高精度

- 支持高速采樣時域信號采集和任意線性波形生成模塊化架構(gòu)

- 支持靈活、可擴展的測試配置

簡單易用

- 內(nèi)置專業(yè) LabExpress 軟件 , 用戶界面友好

- 測量、分析功能強大

- 無需復雜編程步驟即可同步產(chǎn)生電壓并跟蹤波形

可用作 9812DX 內(nèi)部 SMU 模塊

- 無縫集成 9812D/DX 系統(tǒng)及其 NoiseProPlus 軟件，可提高噪聲測試速度

（三）產(chǎn)品應用：

新型材料與器件測試

半導體器件可靠性測試

半導體器件超短脈沖測試

半導體器件無損探傷與測試

光電器件和微電子機械系統(tǒng)測試

半導體器件超低頻噪聲領(lǐng)域測試

（四）硬件規(guī)格

寬量程：200V 電壓，1A 直流電流

高精度：30fA 精度，0.1fA 靈敏度

噪聲測試帶寬：高精度 100kHz，超低頻 40Hz

噪聲測試速度：<10s/bias（大于 0.5Hz 頻率分辨率）

內(nèi)置脈沖測試：200V 電壓，3A 脈沖電流，最小 50us 脈寬

內(nèi)置 CV 測試：200V/10kHz，可測至 20fF

外置 CV 測試模塊：40V/2MHz（高精度型）

40V/10MHz（高帶寬型）

高速時域信號采集：最小采樣時間 < 1us，10 萬點數(shù)據(jù)

噪聲測試最小阻抗：500Ω

噪聲測試分辨能力：可做 2e-28A2/Hz

噪聲測試頻率分辨率：高精度 0.1Hz，超低頻 0.001Hz

高精度快速波形發(fā)生與測量套件：

2 通道，SMA 接口

快速 IV 測試：±10V 電壓， 10mA 電流

SMU 直通：±25V 電壓輸入， 100mA 電流

100MSa/s 采樣率，最小推薦脈沖寬度可達 130ns

（五）軟件功能

FS-Pro 系列內(nèi)置 LabExpress 測量軟件具有強大的測試和分 析功能，該軟件提供友好的圖形化用戶使用界面和靈活的設(shè) 定，具有下列主要功能：

完整支持直流、脈沖、瞬態(tài)、電容、噪聲測試、任意波形發(fā)生與測量功能

支持長程 Stress 測試，和 HCI，BTI，TDDB，GOI（V-Ramp，J-Ramp）可靠性測試

內(nèi)置的常見器件測試預設(shè)可大大提高測試設(shè)置效率，幫助 新手操作者快速完成測試

強大的自定義設(shè)定功能可以靈活編輯電信號

內(nèi)置強大數(shù)據(jù)處理能力可測試后直接展幵器件特性分析多種數(shù)據(jù)保存方式，導出數(shù)據(jù)可供用戶后續(xù)分析研究也可直接導入建模軟件 BSIMProPlus 和 MeQLab 進行模型提取 和特性分析

LabExpress 專業(yè)版支持對主流探針臺和矩陣幵關(guān)設(shè) 備的控制，支持晶圓映射、并行測試實現(xiàn)自動測試功能，進—步提升測試效率

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