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當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> ESDEMC-ES612A ESD測(cè)試儀(HBM、HMM、MM)
ES612A是一款2管腳ESD測(cè)試儀，為晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級(jí)ESD測(cè)試而設(shè)計(jì)。該測(cè)試儀的波形可以符合HBM、HMM和MM 的相關(guān)ESD標(biāo)準(zhǔn)。測(cè)試儀上的DC特性測(cè)試端口，可搭配數(shù)字源表等DC測(cè)試設(shè)備，較為輕松的幫助確定ESD損傷閾值。ES612A可搭配64pin/128pin多管腳自動(dòng)化測(cè)試儀進(jìn)行應(yīng)用擴(kuò)展，也可用作器件質(zhì)檢規(guī)范流程的一步。
ES612A ESD測(cè)試儀的脈沖源設(shè)計(jì)和注入方法能夠確保被測(cè)器件端的波形性能。該設(shè)備內(nèi)置的電流探頭自動(dòng)抓取脈沖注入時(shí)的波形，用于確定保護(hù)電路的導(dǎo)通電平。此外，電壓波形也可通過選配的電壓探頭連接示波器進(jìn)行抓取。由于該設(shè)備還可擴(kuò)展進(jìn)行ESD波形注入前后的DC特性檢測(cè)，因此可進(jìn)行ESD事件的損傷判定。
低寄生參數(shù)，具有高質(zhì)量脈沖
可定制，可擴(kuò)展
可搭配探針臺(tái)進(jìn)行晶圓級(jí)測(cè)試
外置可選配的自動(dòng)故障檢測(cè)模塊
大尺寸觸摸控制面板，固件可升級(jí)
可選配的自動(dòng)化脈沖注入和故障測(cè)量軟件
可選配的脈沖IV和DC IV表征功能
用于晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級(jí)器件的通用ESD測(cè)試
HBM模塊符合ANSI / ESDA / JEDEC JS-001-2017、MIL-STD-883和MIL-STD-750
HMM模塊符合ANSI / ESD SP5.6-2019
MM模塊符合ANSI / ESD STM5.2-2019
ES612A 控制主機(jī)
| 參數(shù) | ES612A-2K | ES612A-4K | ES612A-6K | ES612A-8K | ES612A-12K | ES612A-20K | 單位 |
| 輸出電壓 | ± 10 ~ 2000 | ± 10 ~ 4000 | ± 10 ~ 6000 | ± 10 ~ 8000 | ± 10 ~ 12000 | ± 10 ~ 20000 | V |
| 最小輸出電壓步長(zhǎng) | 1V (500V以內(nèi)) 10V (2 kV以內(nèi)) | 1V (500V以內(nèi)) 10V (4 kV以內(nèi)) | 1V (500V以內(nèi)) 10V (6 kV以內(nèi)) | 1V (500V以內(nèi)) 10V (8 kV以內(nèi)) | 1V (500V以內(nèi)) 10V (12 kV以內(nèi)) | 1V (500V以內(nèi)) 10V (20 kV以內(nèi)) | V, kV |
| 輸出電壓精度 | 優(yōu)于± 1 % ± 5 V | % | |||||
| 尺寸 | 347 X 300 X 145 | mm | |||||
| 重量 | 5 | 6 | 6 | 6 | 6 | 7 | kg |
| 電壓、電流測(cè)量 | 電壓、電流測(cè)量無源探頭 | ||||||
| 支持的示波器 | Keysight， Tektronix，Lecory主流型號(hào)示波器 | ||||||
| 支持的SMU | Keithley 2900 系列，Keithley 24xx/26xx 系列 | ||||||
外置人體模型（HBM ）波形發(fā)生模塊
(根據(jù)ANSI/ESDA/JEDEC JS-001-2017)
| 參數(shù) | HBM-2K | HBM-4K | HBM-6K | HBM -8K | HBM -12K | HBM -20K | 單位 |
| 輸出電壓 | ± 10 ~ 2000 | ± 10 ~ 4000 | ± 10 ~ 6000 | ± 10 ~ 8000 | ± 10 ~ 12000 | ± 10 ~ 20000 | V |
| 放電RC值 | C: 100 pF ± 10%, R: 1.5k? ± 1% | ||||||
| 短路峰值電流Ips | 0.67A ± 10 % 每kV | ns | |||||
| 短負(fù)荷上升時(shí)間Trs | 2 < Trs < 10 | ns | |||||
| 短負(fù)荷衰減時(shí)間Tds | 130 < Tds < 170 | ns | |||||
| 短負(fù)荷振鈴Irs | < 15% of Ips | ||||||
| 500Ω負(fù)載峰值電流Ipr | Ipr/Ips ≥ 63% | ||||||
| 500Ω負(fù)載上升時(shí)間Trr | 5 < Trr < 25 | ns | |||||
外置人體金屬模型（HMM ）波形發(fā)生模塊
(根據(jù)ANSI/ESD SP5.6-2019)
| 參數(shù) | HMM-8 | HMM-24 | HMM-36 | 單位 | 備注 |
| HMM第一峰值電流 | 90 | 90 | 135 | A | 3.75 A每1 kV ≤ ± 10 % IEC 61000-4-2 (R=330?, C=150pF) |
| HMM電流@ 30 ns | 48 | 48 | 72 | A | ≤ ± 10 % (優(yōu)于IEC標(biāo)準(zhǔn)的 ±30% ) |
| HMM電流@ 60 ns | 24 | 24 | 36 | A | ≤ ± 10 % (優(yōu)于IEC標(biāo)準(zhǔn)的 ±30% ) |
外置機(jī)器模型（MM ）波形發(fā)生模塊
(根據(jù)ANSI/ESD STM5.2-2019)
| 參數(shù) | MM-2 | MM-4 | 單位 | 備注 |
| 輸出電壓 | ±10 ~ 2000 | ±10 ~ 4000 | V | |
| 放電RC值 | C: 200 pF, R: 0 ? | |||
| 短路負(fù)載峰值電流Ip1 | 1.75±10%每100V | A | 如果使用插座公差會(huì)不同 | |
| 短路負(fù)載Ip2 | Ip1的67% ~ 90% | A | ||
| 短路負(fù)載波形周期tpm | 66 < tpm < 90 | ns | ||
| 500 ?負(fù)載峰值電流Ipr | 0.85 – 1.2 | A | @400V符合標(biāo)準(zhǔn)的條件 | |
| 500 ?負(fù)載I100 | 0.23 – 0.4 | A | @400V符合標(biāo)準(zhǔn)的條件 | |
| 500 ?負(fù)載I200 | 測(cè)量的 I100的30 -50% | A | ||
| 編號(hào) | 型號(hào) | 描述 |
| ESD測(cè)試儀 | ||
| 1.1 | ES612A-2K | ES612 ESD測(cè)試儀, 最高2kV, 支持RS232 SCPI |
| ES612A-4K | ES612 ESD測(cè)試儀, 最高4kV, 支持RS232 SCPI | |
| ES612A-6K | ES612 ESD測(cè)試儀, 最高6kV, 支持RS232 SCPI | |
| ES612A-8K | ES612 ESD測(cè)試儀, 最高8kV, 支持RS232 SCPI | |
| ES612A-12K | ES612 ESD測(cè)試儀, 最高12kV, 支持RS232 SCPI | |
| ES612A-20K | ES612 ESD測(cè)試儀, 最高20kV, 支持RS232 SCPI | |
| 1.2 | ES612A-HBM-2 | 人體模型2管腳模型, 2kV |
| ES612A-HBM-4 | 人體模型2管腳模型, 4kV | |
| ES612A-HBM-6 | 人體模型2管腳模型, 6kV | |
| ES612A-HBM-8 | 人體模型2管腳模型, 8kV | |
| ES612A-HBM-12 | 人體模型2管腳模型, 12kV | |
| ES612A-HBM-20 | 人體模型2管腳模型, 20kV | |
| 1.3 | ES612A-HMM-8 | 人體金屬模型2管腳模型, 等同8kV HMM |
| ES612A-HMM-24 | 人體金屬模型2管腳模型, 等同24kV HMM | |
| ES612A-HMM-36 | 人體金屬模型2管腳模型, 等同36kV HMM | |
| 1.4 | ES612A-MM-2 | 機(jī)器模型2管腳測(cè)試儀模型, 2kV |
| ES612A-MM-4 | 機(jī)器模型2管腳測(cè)試儀模型, 4kV | |
| 附件 | ||
| 2.1 | CT-002-T | 電流探頭1kHz 至 2 GHz (優(yōu)于Tektronix CT1 & CT2) |
| 2.2 | ES62X-CMPS | 簡(jiǎn)易手動(dòng)探針臺(tái) |
| 2.3 | XYZM | XYZ探針座, XYZ可移動(dòng)500 mils, 0.01mm每個(gè)步進(jìn) |
| 2.4 | XYZM-HBM | HBM探針臂 |
| 2.5 | XYZM-HMM | HMM探針臂(47.5R) |
| 2.6 | HBM-TC0.3 | 0.3 mm用于IC探針封裝的變槳測(cè)試夾 |
| 2.7 | HBM-TC2.5 | 2.54 mm用于PCB探針的變槳測(cè)試夾(默認(rèn)配置包含1組) |
| 2.8 | XYZM-PP048 | 0.48 mm用于封裝級(jí)測(cè)試的彈簧針 (一包20個(gè)) |
| 2.9 | XYZM-TN1 | 鎢鋼針 – 5 mils尖頭, 用于晶圓級(jí)測(cè)試 (一包10個(gè)) |
| 第三方設(shè)備 | ||
| 3.1 | KSMU2400 | SMU, 200V, 1A, 20W, 單通道(用于設(shè)備直流自動(dòng)失效檢測(cè))) |
| 3.2 | OSC-1G | 1 GHz BW, 5Gs/S, 4通道示波器 |
| ES612A ESD測(cè)試儀(HBM、HMM、MM) 自動(dòng)化解決方案 | ||
| 4.1 | HBM-RE64X2 | 64X2用于HBM自動(dòng)測(cè)試的管腳轉(zhuǎn)接擴(kuò)展模塊 |
| 4.2 | HBM-RE128X2 | 128X2用于HBM自動(dòng)測(cè)試的管腳轉(zhuǎn)接擴(kuò)展模塊 |
| 4.4 | ES62X-PC-SW1 | 預(yù)裝自動(dòng)測(cè)試軟件的臺(tái)式電腦，用于2管腳、脈沖和SMU |
| 4.5 | ES62X-PC-SW2 | 預(yù)裝自動(dòng)測(cè)試軟件的臺(tái)式電腦，用于2管腳、脈沖、示波器和SMU |
| 4.6 | ES62X-PC-SW3 | 預(yù)裝自動(dòng)測(cè)試軟件的臺(tái)式電腦，用于RE 多管腳、脈沖、示波器和 SMU |
| 4.7 | ES650-150 | 全自動(dòng)2管腳低寄生機(jī)械自動(dòng)化方案 (不限制管腳, 不需要PCB, PC & 包含全自動(dòng)軟件) |
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