明視場用物鏡
M Plan Apo /
M Plan Apo HR
VMU WIDE VMU FS70 MF-U Hyper MF-U

憑借長動作距離設(shè)計的物鏡，實現(xiàn)優(yōu)異的操作性。
與定位器、探針臺等組合。
通過與激光加工裝置組合，還可支持不良分析→部分修正無縫銜接的系統(tǒng)。
此外，還提供支持隔著玻璃的、真空內(nèi)的外觀檢查的系統(tǒng)

Mitutoyo三豐顯微鏡單元
日本三豐物鏡(紫外、近紫外、可視、近紅外)
用于半導(dǎo)體、電子、液晶相關(guān)等產(chǎn)品的生產(chǎn)
品質(zhì)管理系統(tǒng)、實驗研究裝置使用的光學(xué)系統(tǒng)
外觀檢查系統(tǒng)的嵌入式光學(xué)單元
微生物等運動物體的觀察 等
可安裝數(shù)碼相機，通過外部顯示器進行觀察和拍攝。
可實現(xiàn)橫向水平、上下顛倒等高自由度的固定方法。
與簡易支架一起使用，還可作為緊湊型顯微鏡使用。
★金屬、樹脂、印刷面等表面觀察拍攝
★微量流體分析用光學(xué)系統(tǒng)
★以觀察和分析細(xì)胞、微生物等為目的的光學(xué)系統(tǒng)

M Plan Apo NIR系列等支持紅外區(qū)的物鏡組合，可在紅外線下實
現(xiàn)可見光下做不到的非破壞性檢查。
★液晶薄膜、硅基板等的厚度測量
★MEMS內(nèi)部的非破壞評價、三維安裝評價
★半導(dǎo)體封裝(IC)的內(nèi)部觀察、晶圓鍵合空洞評價傳感器
★紅外分光特性分析

通過VMU-LB和固定倍率觀察用相機卡口的
組合，能夠?qū)ν晃恢靡圆煌堵释瑫r觀
察。
(低倍率側(cè)：2/3型、高倍率側(cè)：1/2型等)

通過與YAG激光(1064nm、532nm、355nm、266nm)物鏡組合，可實現(xiàn)高精度、高
品質(zhì)加工。
與簡易支架一起使用，還可作為緊湊型顯微鏡使用。
保護膜、有機薄膜等的剝離
金、鋁等金屬配線切割、下層圖案的外露
FPD的各種缺陷修正
光掩模修正
標(biāo)記、修剪、圖像形成、局部退火、劃線

憑借長動作距離設(shè)計的物鏡，實現(xiàn)優(yōu)異的操作性。
通過與激光加工裝置組合，還可支持不良分析→部分修正無縫銜接的系統(tǒng)。
此外，還提供支持隔著玻璃的、真空內(nèi)的外觀檢查的系統(tǒng)

視頻顯微鏡單元
VMU 
大視場視頻顯微鏡單元
WIDE VMU 

精密顯微鏡單元
FS70 
明視場用物鏡
(長工作距離
)
M Plan Apo/M Plan Apo HR 
明視場用物鏡
(超長工作距離
)
M Plan Apo SL 
明視場用物鏡
(玻璃厚度校正)
G Plan Apo
明暗視場物鏡
(長工作距離)
BD Plan Apo/BD Plan Apo HR
明暗視場物鏡
(超長工作距離
)
BD Plan Apo SL
(近紅外區(qū)
)
M Plan Apo NIR/M Plan Apo NIR HR,
M Plan Apo NIR B
明視場用物鏡
(液晶玻璃厚度校正 近紅外區(qū)
)
LCD Plan Apo NIR/LCD Plan Apo NIR HR 
明視場用物鏡
(近紫外區(qū)
)
M Plan Apo NUV/M Plan Apo NUV HR 
明視場用物鏡
(液晶玻璃厚度校正 近紫外區(qū)

LCD Plan Apo NUV/LCD Plan Apo NUV HR
明視場用物鏡
(紫外區(qū)
)
M Plan UV 
明視場用物鏡
(液晶紫外區(qū)
)
LCD Plan UV
成像
(鏡筒
)透鏡
MT 
測量顯微鏡用物鏡
ML 
定心顯微鏡用物鏡
CF 
大視場目鏡
/分劃板
WF/UWF
各種顯微鏡選件
支架、工作臺、照明裝置 
外形尺寸
(VMU/WIDE VMU/FS70