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產(chǎn)地類別	進口	應用領域	環(huán)保

HORIBA堀場HE-960H-TM-S高精度TMAH濃度監(jiān)測儀

總覽
TMAH濃度的高精度測量，TMAH濃度是半導體/液晶工藝中使用的光刻膠顯影劑的主要成分。我們擁有一系列的耐化學腐蝕傳感器。

特征
高精度：重復性在±0.003wt％之內(nèi)
大范圍
濃度：0-3％，電導率：0-1000 mS / cm
顯示范圍自動切換功能
能夠測量3種TMAH濃度，電導率和溫度
使用耐化學腐蝕碳傳感器
24V DC電源
符合RoHS的產(chǎn)品

仕様

型式	HE-960H-TM-S
薬液種	TMAH
測定範囲	濃度: 0 - 3%, 導電率: 0 - 1000mS/cm
繰り返し性	+/- 0.003wt%以內(nèi) (溫度変動幅+/-0.5℃以內(nèi)、導電率等価入力にて)
直線性	+/- 0.003wt%以內(nèi) (溫度変動幅+/-0.5℃以內(nèi)、導電率等価入力にて)
伝送出力	4點
接點出力	5點
通信出力	RS-485
電源仕様	24V DC +/- 10% 10W
適合センサ	FES-510 Series
センサ接液部材質(zhì)	GC, PFA, Karletz®