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價(jià)格區(qū)間	5千-1萬(wàn)	檢測(cè)類(lèi)型	測(cè)液體樣品
密度測(cè)量范圍	1g/cm3	密度精度	1g/cm
密度溫度范圍	10℃	行業(yè)應(yīng)用	通用密度計(jì)
儀器類(lèi)別	臺(tái)式	儀器種類(lèi)	真密度計(jì)
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保	最小取樣量	1ml

HORIBA堀場(chǎng)HF密度計(jì)HF-960EM

用于半導(dǎo)體制造工藝的HF濃度計(jì)HF-960EM

HF-960EM是使用帶有*潤(rùn)濕部件的傳感器作為PFA的型號(hào)，并且符合半導(dǎo)體工藝中的清潔度要求。傳感器尺寸縮小到極限，實(shí)現(xiàn)了節(jié)省空間的安裝。提高穩(wěn)定性和重現(xiàn)性準(zhǔn)確性，并支持高達(dá)50％HF濃度的寬量程。

特征
寬范圍設(shè)置，HF濃度高達(dá)50％
高穩(wěn)定性/再現(xiàn)性精度
內(nèi)置溫度測(cè)量傳感器支持高達(dá)80℃的HF樣品測(cè)量。 FS精度達(dá)到±0.5％。
自動(dòng)量程功能
無(wú)污染/耐化學(xué)腐蝕傳感器
清潔結(jié)構(gòu)的傳感器，僅使用PFA作為液體接觸材料。由于它是一種耐化學(xué)腐蝕的傳感器，因此可以用于測(cè)量半導(dǎo)體工藝中使用的各種化學(xué)物質(zhì)。
小型輕巧的傳感器
與我們的傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，尺寸縮小了2/3，并且重量進(jìn)一步減輕。通過(guò)將其安裝在單晶圓噴嘴的前面，可以提高安裝空間的靈活性

仕様

型式	HF-960EM
測(cè)定レンジ	HF: 0 - 50%, HCl: 0 - 10%, 導(dǎo)電率: 0 - 2000 mS/cm
繰り返し性	フルスケールの+/- 0.5% 以?xún)?nèi)（等価入力にて）
直線(xiàn)性	フルスケールの+/- 0.5% F.S. 以?xún)?nèi)（等価入力にて）
伝送出力	出力點(diǎn)數(shù)：4點(diǎn)
接點(diǎn)出力	出力點(diǎn)數(shù)：5點(diǎn)
接點(diǎn)入力	入力點(diǎn)數(shù)： 2點(diǎn)
通信機(jī)能	RS-485
電源	DC 24 V +/- 10% 15W
適合センサ	CM-520 Series
接液部	PFA