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供貨周期	一個月以上	規(guī)格	1
貨號	M-311HG	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,電子/電池,電氣
主要用途	真空計	壓力測量范圍	1×10-7～10Pa

canon-anelva M-311HG真空計

換能器真空計系列的離子計。離子規(guī)（熱陰極電離真空規(guī)）具有良好的重現(xiàn)性和線性，可測量寬范圍的壓力，是作為真空規(guī)的優(yōu)良特性。傳感器使用經(jīng)過驗證的微型儀表（MG-2I 型）

特征壓力測量范圍廣從 10-7Pa 到 10Pa，可以在不犧牲超高真空側(cè)特性的情況下測量超出濺射工藝的低真空區(qū)域。高響應(yīng)模擬輸出壓力值的模擬信號輸出確保100毫秒內(nèi)的高響應(yīng)性，也可用于過程壓力控制。 4種發(fā)射電流設(shè)置模式可根據(jù)用途進(jìn)行選擇，例如在高壓區(qū)側(cè)使用時可提高燈絲壽命

用生產(chǎn)真空設(shè)備壓力測量半導(dǎo)體濺射設(shè)備壓力測量各種真空裝置選項可提供系列兼容指示器。大型數(shù)字液晶顯示屏，一目了然，大大提高了操作性根據(jù)應(yīng)用選擇1ch類型或3ch類型

型　名	イオンゲージ
型　名	M-311HG‐SP	M-311HG‐RS
圧力測定範(fàn)囲	1×10^-7～10Pa
入力電圧	DC20～28V
消費電力	12W
アナログ出力	0～10V	－
セットポイント	2點リレー出力
インターフェース	－	RS485
入出力コネクタ	Dsub-9（Male）
最大ケーブル長	200m（1mm²）
使用溫度範(fàn)囲	5～50℃
保存溫度範(fàn)囲	-20～70℃
センサ－型名	ミニチュアB-Aゲージ（MG-2Iシリーズ）
センサー材質(zhì)（主要部）	フィラメント:Y2O3/Ir、ケース:SUS304
外形寸法（mm）	110×70×50
フランジ形狀	NW16, NW25, ICF34, ICF70
対応	CEマーキング、RoHS (Category9)、IP40