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日本INTECS目視檢查用鹵素光源裝置UIH-1H
ランプ定格 | 15V 150W |
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設(shè)計(jì)照射徑と距離 | ランプ鏡筒先端から180mmでφ40mm |
高輝度 | 上記照射徑中央にて約5萬(wàn)ルクス |
50萬(wàn)ルクス時(shí)の照射徑 | 約φ45mm |
倍徑時(shí)距離と輝度 | 360mm 約15萬(wàn)ルクス |
輝度偏差と可変幅 | 高輝度偏差:上限10%、下限20% 可変幅 10:1以上 |
高輝度ランプ壽命 | 50時(shí)間以上 |
半輝度ランプ壽命 | 800時(shí)間以上 |
調(diào)光方式 | SCR位相制御 |
ランプハウス內(nèi)冷卻 | ファンによる強(qiáng)制空冷方式 |
ランプハウス內(nèi)発熱監(jiān)視 | 無(wú)し |
ランプハウス冷卻保持(※1) | 無(wú)し |
電源 | AC100V トランス式 |
総重量 | 約7kg |
※1 ランプ保護(hù)の為、主電源スイッチをOFFにしてもランプハウス內(nèi)の溫度が約40℃以下になるまで
ファンによる冷卻を保持する機(jī)能
ポリッシュウエハーに照射すると3條の検査マークを投影します。
インテックス製品をお買い上げいただきありがとうございます。 ? 本書をよくお読みのうえ、安全にお使いください。 ? 本書は直ぐに利用できるように大切に保管してください。
超高輝度検査用照明裝置(UIH-1H型)
目的、用途 ポリッシュウエハーのヘイズ(曇り量)を検査する裝置です。ポリッシュウエハーの照 射面に3條の検査マークを投影します。TAM-1C型は輝度重視の製品ですが、1H型 は結(jié)像を重視した明るさになっております。 ※1 半導(dǎo)體ウエハー、マスクガラス、光學(xué)部品、レンズ等
超高輝度検査用照明裝置を安全にご使用いただくために ご使用前に,この「安全にご使用いただくために」をよくお読みのうえ,正しくお使い ください。ここに示した注意事項(xiàng)は,製品を安全にお使いいただき,あなたや他の人々へ の危害や損害を未然に防止するためのものです。
◆手順6 終了時(shí) ?ランプスイッチを STANDING BY にし、冷卻の為3分以上経ってから INTENSITY ノブ を 左一杯に回し、電源を切斷して下さい。 ランプ壽命について ?高輝度で50時(shí)間 ?半輝度で800時(shí)間 輝度と照射面積について 輝度は照射面積に反比例します。 照射面積を必要低限に調(diào)整し、INTENSITY ノブにて必要輝度に調(diào)整することにより、ラ ンプ壽命を延ばすことが出來(lái)ます。 消耗品について UIH-1C専用 15V 150W ダイクロックミラー形ハロゲンランプ 1 箱 10 個(gè)入 ヒューズ ミゼット型 5A 5 本入 を販売しております。
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