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735W 系列，二級(jí)減壓調(diào)壓閥，為高壓超高純度（UHP）應(yīng)用而設(shè)計(jì)。該系列產(chǎn)品擁有優(yōu)異的穩(wěn)定性并降低供給壓力作用的影響 - 不管入口壓力如何波動(dòng)，出口壓力保持穩(wěn)定。
產(chǎn)品分類品牌分類
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Fluke安裝測(cè)試儀 Fluke熱像儀 Fluke校準(zhǔn)儀 Fluke測(cè)試儀 Fluke功率計(jì) Fluke功率分析儀 Fluke記錄儀 Fluke監(jiān)測(cè)器 Fluke電氣綜合測(cè)試儀 Fluke電能質(zhì)量分析儀 Fluke紅外熱像儀 Fluke紅外窗口 Fluke電測(cè)窗 Fluke激光儀 Fluke鉗形表 Fluke點(diǎn)檢儀 Fluke頻閃儀 Fluke測(cè)振儀 Fluke模塊 Fluke溫度表 Fluke測(cè)溫儀 Fluke電流表 Fluke萬(wàn)用表 Fluke套件 Fluke電阻測(cè)試儀 Fluke示波表 Fluke工業(yè)診斷內(nèi)窺鏡 Fluke成像儀
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
735W 系列，二級(jí)減壓調(diào)壓閥，為高壓超高純度（UHP）應(yīng)用而設(shè)計(jì)。該系列產(chǎn)品擁有優(yōu)異的穩(wěn)定性并降低供給壓力作用的影響 - 不管入口壓力如何波動(dòng)，出口壓力保持穩(wěn)定。
- 派克Veriflo部門的735W和NPR735W（亞大氣壓）系列閥門，是為高壓氣體分配系統(tǒng)而設(shè)計(jì)，特別是用于超高純度（UHP）半導(dǎo)體制造操作系統(tǒng)。 該系列產(chǎn)品適用于惰性和腐蝕性氣體，具有二級(jí)隔膜設(shè)計(jì)，可大限度地減少供給壓力的影響; 因此，無(wú)論入口壓力如何波動(dòng)，都能提供穩(wěn)定的出口壓力。
735W系列調(diào)壓閥具有*的壓縮構(gòu)件，其在潤(rùn)濕區(qū)域無(wú)螺紋，從而提高泄漏完整性，并減少顆粒的產(chǎn)生和截留的風(fēng)險(xiǎn)。此種調(diào)壓閥配有100級(jí)潔凈室，由Veriflo專有的Vericlean™ 316L不銹鋼制成，并帶有PCTFE（聚三氟氯乙烯）或者 Vespel®（聚酰亞胺）閥座。這些材料，標(biāo)準(zhǔn)的全內(nèi)部電拋光和哈氏合金C-22® 隔膜和提升閥相結(jié)合在一起，使調(diào)壓閥入口壓力高達(dá)3,500 psig時(shí)都能保有其的耐腐蝕性和清潔度。閥座還具有自定位設(shè)計(jì)，可做重復(fù)有效關(guān)閉，穩(wěn)定的密封性，以及精確的壓力調(diào)節(jié)。它通過(guò)集成的過(guò)濾網(wǎng)保護(hù)其不受上游氣缸帶來(lái)的污染。
735W系列調(diào)壓閥，當(dāng)閥座出現(xiàn)泄漏時(shí)，閥門關(guān)閉以阻隔帶有腐蝕性或有害氣體泄漏，并且通過(guò)消除下游潛在的聚積高壓而提高安全性。調(diào)壓閥內(nèi)部（閥座）密封件和密封外的金屬部件均通過(guò)質(zhì)譜儀進(jìn)行內(nèi)外部氦氣泄露檢測(cè)，以確保在苛刻的要求清潔度的UHP應(yīng)用中，保有其性能和可靠性。
美國(guó)派克PARKER減壓調(diào)壓閥特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)：
• *的壓縮構(gòu)件無(wú)需螺紋穿孔將密封與本體連接在一起
• 高循環(huán)使用壽命（包括耐腐蝕xing服務(wù)）
• 內(nèi)部彈簧設(shè)計(jì)小化顆粒的產(chǎn)生和氣體截留
• 金屬對(duì)金屬隔膜到閥體的密封確保高泄漏完整性
• 內(nèi)部泄漏率: <2 x 10-9 scc/sec He （額定）
• 外部泄漏率: <2 x 10-10 scc/sec He
• 全壓力范圍使用:從真空到3,500 psig （NPR735W可用于亞大氣壓的壓力控制）
• Cv 0.04
• 標(biāo)準(zhǔn)的全內(nèi)部電拋光
美國(guó)派克PARKER減壓調(diào)壓閥應(yīng)用：
• 腐蝕性氣體和特種氣體
• 半導(dǎo)體工具
• 工具連接
• 燃?xì)夤?br />• 閥組箱（VMB）
• 上游工藝管線
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