霍尼韋爾模擬式氣體質(zhì)量流量傳感器

概述

霍尼韋爾 Zephyr™ 模擬式氣體質(zhì)量流量傳感器：HAF 系列 - 高精度，   單向流量，   符合 ISO 5356 的 22 mm OD 錐形公螺紋接頭，   0 SLPM 至 20 SLPM 流量范圍，   數(shù)字 I²C 地址：0x49。

霍尼韋爾 Zephyr™ HAF 系列傳感器為的滿量程流量范圍及溫度補(bǔ)償范圍內(nèi)讀取氣流數(shù)據(jù)提供一個數(shù)字界面。隔熱加熱器和溫度感應(yīng)元件可幫助傳感器對空氣流或其他氣流做出快速響應(yīng)。

Zephyr 傳感器旨在測量空氣和其他無腐蝕性氣體的質(zhì)量流量。標(biāo)準(zhǔn)流量范圍為 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 或 300 SLPM，另具可定制化的流量范圍供您選擇。這些傳感器利用電路板上的集成電路 (ASIC) 進(jìn)行全面的校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償。

HAF 系列 >10 SLPM 已經(jīng)在經(jīng)校準(zhǔn)的 0 °C 至 50 °C [32 °F 至 122 °F] 溫度范圍進(jìn)行補(bǔ)償。基于ASIC 的補(bǔ)償能夠?qū)崿F(xiàn)數(shù)字 (I2C) 輸出和 1 ms 的響應(yīng)時間。

這些傳感器根據(jù)熱傳遞原理測量氣流的質(zhì)量流量。它們由含有熱電阻微橋的微機(jī)電傳感系統(tǒng) (MEMS) 組成，薄膜鉑電阻沉積于氮化硅薄膜上。MEMS 傳感芯片位于精密設(shè)計(jì)的氣流通道內(nèi)，提供對于流量的可重復(fù)響應(yīng)。

Zephyr 傳感器可以為客戶提供增強(qiáng)的可靠性、高準(zhǔn)確度、可重復(fù)測量等性能，并且能夠定制傳感器以滿足許多具體的應(yīng)用要求。堅(jiān)固外殼和穩(wěn)定基底相結(jié)合使得這些產(chǎn)品極其堅(jiān)固耐用。它們的設(shè)計(jì)與制造符合 ISO 9001 標(biāo)準(zhǔn)

霍尼韋爾模擬式氣體質(zhì)量流量傳感器

技術(shù)規(guī)格

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 總誤差帶 (TEB)：霍尼韋爾 TEB，全面、明晰且意義的測量可以保證傳感器的真實(shí)精度。TEB 能夠執(zhí)行精確的氣體質(zhì)量流量測量，通常是需要精確測量氣體質(zhì)量流量應(yīng)用領(lǐng)域的理想之選。
• 高精度：是需要高精度應(yīng)用領(lǐng)域的理想之選。
• 快速響應(yīng)時間 (1 ms)：讓客戶的應(yīng)用能夠?qū)怏w質(zhì)量流量的變化作出快速響應(yīng)，這對重大健康（例如，麻醉）和工業(yè)（例如，通風(fēng)櫥）應(yīng)用至關(guān)重要。
• 高穩(wěn)定性：降低熱效應(yīng)和零漂所造成的誤差，隨著時間推移依然能獲得精確讀數(shù)，通常還避免了在 PCB 安裝后以及定期進(jìn)行系統(tǒng)校準(zhǔn)的需要。
•  對極低流量的高敏感性：對氣流的開始和停止響應(yīng)時間更快。
• 12 位高分辨率：能夠感知微弱的氣體流量變化，讓客戶在應(yīng)用中能夠更為精確地控制流量。
• 廣泛的氣體質(zhì)量流量范圍：業(yè)內(nèi)大的氣體質(zhì)量流量范圍，測量質(zhì)量流量的標(biāo)準(zhǔn)范圍為 0-10 SLPM、0-15 SLPM、0-20 SLPM、0-50 SLPM、0-100 SLPM、0-200 SLPM 和 0-300 SLPM，或可定制化的流量范圍，從而使傳感器集成到應(yīng)用中的選擇余地更多。
• 可選端口類型：歧管安裝，22 mm OD 錐形公螺紋接頭和 G 3/8 母螺紋接頭，可靈活選擇適合客戶應(yīng)用的氣動連接。
• 線性輸出：提供了比基本型氣體質(zhì)量流量傳感器的原始輸出更加直觀的傳感器信號，有助于降低生產(chǎn)成本，縮短設(shè)計(jì)及實(shí)施時間。
• 電源電壓范圍寬（3 Vdc 至 10 Vdc）：靈活控制的供電電路讓設(shè)計(jì)師能夠自由選擇合適在系統(tǒng)中使用的電源電壓。
• 基于 ASIC 的 I2C 數(shù)字輸出：輕松集成到微處理器或微控制器上，減少 PCB 復(fù)雜性和組件數(shù)量。
• 為多種氣體類型提供工廠或可定制化的校準(zhǔn)：可對多種氣體，如干燥空氣、氦 (He)、氬 (Ar)、氮 (N₂)、一氧化二氮 (N₂O) 和二氧化碳 (CO₂) 等進(jìn)行工廠校準(zhǔn)，或?yàn)榻K用戶提供可定制化的校準(zhǔn)，而無需使用氣體校正因子。
• 使用符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)的材料，滿足 2002/95/EC 指令的要求

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