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SQ2Micro 減壓閥用于需要在狹小空間內(nèi)進(jìn)行精確壓力控制的UHP超高純使用點(diǎn)場(chǎng)合。提供提供優(yōu)良的可靠性和泄漏完整性，使其成為關(guān)鍵半導(dǎo)體操作的理想選擇
產(chǎn)品分類品牌分類
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
派克PARKER膜片減壓閥產(chǎn)品描述：
派克Veriflo 產(chǎn)品組的SQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv) 是市場(chǎng)上*的微型超高純減壓閥。這個(gè)系列提供精密且穩(wěn)定的壓力控制，提高了MFC（質(zhì)量流量控制器）性能，這對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)的重復(fù)性和產(chǎn)量至關(guān)重要。這個(gè)系列同樣表現(xiàn)出優(yōu)異的泄漏完整性和低粒子生成性，減少了半導(dǎo)體行業(yè)的過程污染.
減壓閥適用于惰性氣體和腐蝕性氣體，為階躍函數(shù)流需求變化提供出色響應(yīng)。這個(gè)系列利用自動(dòng)定心束縛膜片提供穩(wěn)定閥座密封和壓力調(diào)節(jié)。沒有閥芯彈簧和閥座螺紋，顆粒產(chǎn)生與截留有效減少，進(jìn)一步提高工藝清潔度和吹掃性能。
SQ2Micro系列接液部件由特殊金屬加工制成，提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體內(nèi)部材料為電拋光Vericlean™ 316L不銹鋼. Vericlean™ 是派克超高純級(jí)不銹鋼。膜片和閥芯材料為哈氏合金 C-22®。這些材料結(jié)合SQ2Micro系列的設(shè)計(jì)特點(diǎn)，使得SQ2Micro系列耐腐蝕性強(qiáng)和循環(huán)壽命長(zhǎng)，入口壓力可高至250 psig.
SQ2Micro和 SQ2Micro130E是具有相同間距的小型Veriflo量子閥.A型閥體帶有內(nèi)部面密封低壓接口，安裝壓力表和傳感器。SMSQ2Micro系列用于表面貼裝.
SQ2Micro系列減壓閥內(nèi)部(閥座)密封和外部金屬密封通過氦泄漏測(cè)試，使用質(zhì)譜儀以獲得其在苛刻的超高壓領(lǐng)域性能和穩(wěn)定性.
派克PARKER膜片減壓閥特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì):
• 低粒子數(shù)
• 束縛膜片有效減少接液區(qū)域彈簧，提高安全性
• SMSQ2Micro Cv=0.06, SMSQ2Micro130E Cv=0.15
• 出口壓力范圍: -10 psig - 60 psig
• 內(nèi)漏率: ≤ 5 x 10-8 scc/sec標(biāo)準(zhǔn)立方厘米/秒 He
• 外漏率: ≤ 2 x 10-10 scc/sec標(biāo)準(zhǔn)立方厘米/秒 He
• 5 微英寸 (Ra粗糙度) 電拋光表面處理
• 工作溫度范圍: -40°F - +150° F (-40°C - +66°C)
派克PARKER膜片減壓閥應(yīng)用:
• 腐蝕性和特殊氣體
• 半導(dǎo)體工具
• 工具掛鉤
• 氣體柜
• 閥組箱 (VMB)
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