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            深圳市浚海中儀科技有限公司>>無損檢測儀器>>靜電測試儀>> AeroBarMP 5635 日本SIMCO靜電風(fēng)棒

            AeroBarMP 5635 日本SIMCO靜電風(fēng)棒

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            • AeroBarMP 5635 日本SIMCO靜電風(fēng)棒
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            參考價 面議
            具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            • 型號
            • 品牌 Wolfgang Warmbier/德國
            • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
            • 所在地 深圳市
            在線詢價 收藏產(chǎn)品

            更新時間:2019-04-19 19:58:08瀏覽次數(shù):768

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            產(chǎn)品簡介

            重量 1kg
            AeroBarMP 5635 日本SIMCO靜電風(fēng)棒是一種超低顆粒兼容產(chǎn)品,專為靜電消除應(yīng)用而開發(fā),AeroBarMP 5635 日本SIMCO靜電風(fēng)棒需要管理100納米或更小的微小顆粒,例如先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝。

            詳細(xì)介紹

            特點

            • 世界范圍的單晶硅電有的采用效果,避免了由于具有超低顆粒特性的電極材料而導(dǎo)致的金屬污染風(fēng)險
            • 高電荷去除性能,使用*的MP(脈沖調(diào)制)方法有效地將離子傳輸?shù)侥繕?biāo)
            • 小的電位擺動特性,即使在100 mm距離和離子平衡時也可以使用,并且在橫桿長度上的偏置較小
            • 通過智能控制電路隨時自動控制離子發(fā)生狀態(tài)和離子平衡
            • 可拆卸的電極可以1/4轉(zhuǎn)動移動,有助于減少維護(hù)工時
            • MP系統(tǒng)極小的電位擺動簡化了設(shè)置,小電位擺動有效地保持了控制標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)的長期離子平衡。
            • 根據(jù)EFEM進(jìn)行半導(dǎo)體預(yù)處理設(shè)置條的長度
            • 緊湊型設(shè)計,內(nèi)置24V直流驅(qū)動控制器
            • 范圍內(nèi)提供高級支持網(wǎng)絡(luò)

             

            規(guī)范

            型號5635 AeroBar MP

            輸入電壓24V DC +/- 10%
            輸出電壓高達(dá)約13.5kv pp可調(diào)
            安裝距離100mm至1000mm(無空氣吹掃)
            離子發(fā)生系統(tǒng)電暈放電方法
            MP(脈沖調(diào)制)方法調(diào)制頻率1至33 Hz
            離子平衡自動平衡調(diào)整方法
            <±10 V在條形差異中的位置<±10 V 
            (600 mm距離)
            電極單晶硅電極可更換
            吹掃氣體清潔干燥空氣或N2
            大吹掃壓力310 Kpa
            臭氧量<0.05 ppm(24小時積分值)
            信號輸出報警IO開路集電極輸出
            高度78mm x深度34mm x長度在下方
            450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350
            mm
            外觀ABS樹脂

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