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詳細(xì)介紹
KSD-0120 靜電電位監(jiān)視器通過(guò)單個(gè)控制器可以連接多2個(gè)寬通道傳感器（KS-2100）通道，從而可以以低成本構(gòu)建靜電監(jiān)控系統(tǒng)。KSD-0120 靜電電位監(jiān)視器由于傳感器單元體積小，可以安裝在各種制造設(shè)備的狹窄位置，實(shí)現(xiàn)連續(xù)監(jiān)控。
特點(diǎn)
- 通過(guò)單個(gè)控制器可以連接多2個(gè)寬通道傳感器（KS-2100）通道，從而可以以低成本構(gòu)建靜電監(jiān)控系統(tǒng)。
- 由于傳感器單元體積小，可以安裝在各種制造設(shè)備的狹窄位置，實(shí)現(xiàn)連續(xù)監(jiān)控。
- 由于可以進(jìn)行報(bào)警設(shè)置，因此可以在超過(guò)設(shè)定電位時(shí)與各種制造設(shè)備連接。
- 新開(kāi)發(fā)的表面電位傳感器故障診斷電路配備成可以快速確認(rèn)由于沖擊等引起的傳感器故障并輸出到外部。
- 它還可用于檢查和管理離子發(fā)生器的效果。
- 通過(guò)切換范圍，可以在從低電位到高電位的寬范圍內(nèi)進(jìn)行測(cè)量。
使用
- 平板顯示器生產(chǎn)過(guò)程中的電荷量監(jiān)控。
- 半導(dǎo)體晶圓電荷監(jiān)測(cè)。
- 監(jiān)控LSI處理和印刷電路板傳輸期間的充電量。
組成
| 項(xiàng)目 | 格式 | 備注 |
|---|---|---|
| 的主體 | KSD-0120 | |
| 安裝支架 | 包含在體內(nèi) | |
| 傳感器 | KS-2100 | 可選，2個(gè)單位 |
| AC適配器 | 適用于KSD-0120的AC適配器 | 選項(xiàng) |
規(guī)范
的主體
| 模型 | KSD-0120 |
|---|---|
| 顯示范圍 | 范圍（1）±1至±1999 V 范圍（2）±0.01至±19.99 kV |
| 模擬輸出 | 0至±5 V. |
| 控制設(shè)定 | 2通道獨(dú)立設(shè)置 |
| 控制輸出 | 開(kāi)路集電極（控制設(shè)定輸出和傳感器故障輸出） |
| 電源 | 12-24 VDC或 AC適配器（AC 100 V /選件） |
| 當(dāng)前消費(fèi) | 500 mA（DC 12至24 V） |
| 環(huán)境 | 溫度0-40°C，濕度65％RH或更低（無(wú)冷凝） |
| 塊 | 大約580克（包括安裝支架） |
AC適配器（可選）
| 模型 | 適用于KSD-0120的AC適配器 |
|---|---|
| 輸入電壓 | AC 100 V 50/60 Hz |
| 輸出電壓 | DC12V |
| 電纜長(zhǎng)度 | 1580毫米 |
| 塊 | 約385克 |
傳感器（選項(xiàng)）
| 模型 | KS-2100 |
|---|---|
| 檢測(cè)方法 | 振動(dòng)型表面電位傳感器 |
| 測(cè)量范圍 | 范圍（1）±1至±2000 V 范圍（2）±0.01至±20.00 kV |
| 模擬輸出 | 0至±5 V. |
| 測(cè)量精度 | 在±10％以?xún)?nèi) |
| 測(cè)量參考距離 | 范圍（1）10 mm 范圍（2）50 mm |
| 報(bào)警 | 檢測(cè)傳感器故障LED顯示，外部輸出 |
| 電源 | 由KSD-0120提供 |
| 環(huán)境 | 溫度0-40°C，濕度65％RH或更低（無(wú)冷凝） |
| 塊 | 大約100克（我們不包括電纜） |
| 附件 | 電纜5米（可延長(zhǎng)100米） |