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德國馬爾激光共聚焦顯微鏡（光學輪廓儀）技術參數(shù) 
1. 測量原理：非接觸，激光共聚焦 
2. 掃描模塊： 
2.1 XY方向測量范圍50X50mm/100X100mm/150X100mm/200X200mm（可選）,馬達驅動 
2.2 XY方向平臺分辨率0.5um 
2.3 Z方向位移范圍100mm 
2.4 大測量速度50mm/S. 
3. 傳感器模塊 
3.1 共聚焦傳感器，激光光源1.5 μm spot size，1 kHz data rate 
3.2 Z方向分辨率0,02um 
3.3 XY方向分辨率1um，可連續(xù)一次掃描成像，大范圍達到200mmX200mm 
3.4 工作距離 4mm 
3.5 Z方向測量范圍1mm 
4 系統(tǒng)配置 
4.1 計算機：高性能計算機控制系統(tǒng)； 
4.2 配有專業(yè)工作臺， 尺寸L1000 x H750 x W800 (mm) 
4.3 可為CF傳感器選配離軸攝像頭(10X)，大視野8 x 6 mm2 
4.4 功能全面的軟件 

4.5 數(shù)據(jù)分析：輪廓測量、寬度，高度，角度，半徑、粗糙度等二維、三維數(shù)據(jù)分析 

德國馬爾Mahr表面三維形貌光學輪廓儀介紹，   請向武漢科賽思索取更詳盡資料！