超聲顯微鏡,ultrasonic microscope,利用樣品聲學(xué)性能的差別,用聲成像的方法來生成高反差、高放大倍率的超聲像的裝置。有吸收式超聲顯微鏡、激光掃描法超聲顯微鏡和布拉格衍射成像法超聲顯微鏡等。用于顯示介質(zhì)材料內(nèi)部的微小結(jié)構(gòu)。能觀察材料內(nèi)部與聲學(xué)性質(zhì)差別有關(guān)的結(jié)構(gòu),這是用普通光學(xué)顯微鏡和電子顯微鏡所不能觀察到的。超聲顯微鏡利用物體聲學(xué)特性的差異來顯示物體。聲學(xué)特性指的是聲阻抗率和聲衰減,它們與物質(zhì)的彈性和粘彈性有關(guān)。聲鏡給出的是物體的聲學(xué)像或彈性像。聲鏡還具有一些引人注目的特點(diǎn),如被測(cè)物體不需透光;對(duì)于生物組織切片或樣品無需染色,觀察及時(shí);對(duì)于大規(guī)模集成電路,毋需損壞樣品表面即可直接進(jìn)行內(nèi)層觀察。聲鏡與光鏡和電鏡相互補(bǔ)充,為增進(jìn)對(duì)物質(zhì)性質(zhì)的了解提供一種新工具。
掃描顯微鏡的特點(diǎn)在于能夠精確的反映出機(jī)械波和微小樣品的彈性介質(zhì)之間的相互作用,并對(duì)從樣品內(nèi)部反饋回來的信號(hào)進(jìn)行分析!圖像上(C-Scan)的每一個(gè)象素對(duì)應(yīng)著從樣品內(nèi)某一特定深度的一個(gè)二維空間坐標(biāo)點(diǎn)上的信號(hào)反饋,具有良好功能的Z.A傳感器同時(shí)能夠發(fā)射和接收機(jī)械波。