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TH熱流量計是基于熱傳導(dǎo)理論的東京儀表原創(chuàng)的氣體用熱式流量計。 為了支持各種用途，傳感器可支持公稱直徑1~1500A。

另外，轉(zhuǎn)換器從適合使用用途的單功能型到高功能型，備有各種產(chǎn)品。 (熱流量計將傳感器和轉(zhuǎn)換器組合使用)

產(chǎn)品系列和概略規(guī)格

可進行不受壓力及溫度變動影響的質(zhì)量流量測量
從低流速范圍到高流速范圍在廣范圍內(nèi)具有實用測量精度
無可動部、高耐久性
0.1kPa以下的低壓力損失( TH-1600/TH-1800系列除外)
整流器組裝型幾乎不需要上游側(cè)直管部( TH-1800系列及TH-1200+選購整流器)
從-196℃的超低溫到+550℃的超高溫，可廣泛應(yīng)對
帶凈化功能檢測器可對應(yīng)含有灰塵霧沫的生產(chǎn)線

主要用途

半導(dǎo)體制造設(shè)備(氣體管線)
空調(diào)管線
醫(yī)用氣體供給管線
低壓氣體管線
垃圾焚燒設(shè)備生產(chǎn)線

一般配管插入型傳感器(1)

形式	TH-1100戰(zhàn)斗機	TH-1400戰(zhàn)斗機	TH-1100-SP/ th-3200戰(zhàn)斗機
外觀
特點類型	插入型	插入型(插入長度可變)	插入型、帶清除功能 中溫用/高溫用
進程連接	配管噴嘴法蘭 (標準32AJIS10K )	配管噴嘴法蘭 (標準40AJIS10K )	法蘭連接 (標準6JIS10K )
配管口徑	50A~350A 選擇項400A ~1500A	50A~350A 選擇項400A ~1500A	150A~1500A配管插入型
gao使用溫度分類	80℃/180℃/240℃	80℃/180℃	80℃/240℃/550℃
zui高使用壓力	1.0MPa		TH-1100-SP: 1.0MPa TH-3200-SP: 0.1MPa
流量范圍	小:空氣0~45m/h ( nor ) 大值:空氣0~681490 m/h ( nor )		小:空氣0~120/0~255 m/h ( nor ) 大值:空氣0~391840/0~391800 m/h ( nor )
檢測器材質(zhì)	檢測器: SUS304、SUS316、SUS316L 傳感器: SUS316 密封:氟橡膠及其他

普通法蘭安裝型傳感器(2)

形式	TH-1200戰(zhàn)斗機	TH-1700戰(zhàn)斗機	TH-1800戰(zhàn)斗機
外觀
特點類型	內(nèi)聯(lián)型 法蘭連接型	小~中口徑在線型 法蘭連接型	小~中口徑在線型 整流器組裝型
進程連接	配管法蘭連接 (標準JIS10K )		配管法蘭連接 (標準JIS10K ) 或Rc螺紋
配管口徑	50A ~ 150A	1 ~ 50A
zui高使用溫度分類	80℃/180℃
zui高使用壓力	1.0MPa
流量范圍	小值: 空氣 0~45 m/h ( nor ) 大值: 空氣 0~7360 m/h ( nor ) 整流器有 小值: 空氣 0~5 m/h ( nor ) 大值: 空氣 0~2605 m/h ( nor )	小值: 空氣 0~235 m/h ( nor ) 大值: 空氣 0~130 m/h ( nor )	小值: 空氣 0~105 m/h ( nor ) 大值: 空氣 0~5855 m/h ( nor )
檢測器材質(zhì)	檢測器: sus 304 sus 316 sus 316 l 傳感器: SUS316 密封:氟橡膠及其他	檢測器: SCS 14 sc s 16 sus 304 sus 316 sus 316 l 傳感器: SUS316 密封:氟橡膠及其他

高品位傳感器
接觸氣體金屬部實施復(fù)合電解研磨，采用金屬密封。
適合要求非粒子、低泄漏的半導(dǎo)體氣體工藝。

形式	TH-1100-HQ	TH-1500-HQ
外觀
特點類型	插入型 (特殊法蘭噴嘴)	小~中口徑串聯(lián)型、配管焊接 (高品位傳感器)
進程連接說明	配管噴嘴法蘭 (特殊法蘭噴嘴)	工藝管道焊接
配管口徑	50A~100A	1~2
zui高使用溫度	120℃
zui高使用壓力	1.0MPa
流量范圍	小:空氣0~50m/h ( nor ) 大值:空氣0~3355 m/h ( nor )	小:空氣0 ~ 260 L/min(nor ) 大值:空氣0 ~ 4075L/min(nor )
檢測器材質(zhì)	檢測器: SUS316L復(fù)合電解研磨(表面粗糙度Rmax. 0.7μm以下) 傳感器: SUS316、kovar ( ni、co合金)、氧化鋁陶瓷、金焊、 鍍鎳的組合 金屬表面機處理( BA ) 密封:主體部金屬o形圈( PTFE被復(fù)) 傳感器部SUS316
He泄漏性能	1×10-10 PAM/s以下

高低溫傳感器
復(fù)蓋高溫用zui高550℃、低溫用低-196℃的熱流量計。
有高溫用TH-3200和低溫用TH-3300的檢測器。

形式	TH-3200戰(zhàn)斗機	TH-3300戰(zhàn)斗機
外觀
特點類型	插入型、高溫低壓用	插入型、低溫低壓用
配管口徑	6 ~ 1500A
使用溫度范圍	0 ~ 550℃	-196 ~ 0℃
zui高使用壓力	0.1MPa
流量范圍	小:空氣0~60m/h ( nor ) 大值:空氣0~388900 m/h ( nor )
檢測器材質(zhì)	檢測器: SUS304、SUS316、SUS316L 傳感器: SUS316L

組合轉(zhuǎn)換器

形式	TRX-600戰(zhàn)斗機	TRX-700戰(zhàn)斗機	TRX-900戰(zhàn)斗機
外觀
可組合 傳感器	TH-1100戰(zhàn)斗機 TH-1200戰(zhàn)斗機 TH-1400戰(zhàn)斗機 TH-1700戰(zhàn)斗機 TH-1800戰(zhàn)斗機 TH-1100-HQ TH-1500-HQ TH-3200戰(zhàn)斗機 TH-3300戰(zhàn)斗機 th-1100戰(zhàn)斗機 th-3200戰(zhàn)斗機	TH-1100戰(zhàn)斗機 TH-1200戰(zhàn)斗機 TH-1400戰(zhàn)斗機 TH-1700戰(zhàn)斗機 TH-1800 TH-1100-HQ TH-1500-HQ
特點	一般類型 現(xiàn)場掛載	智能類型 室內(nèi)面板安裝	智能類型 現(xiàn)場掛載
外殼結(jié)構(gòu)	相當于IP65	相當于IP20	相當于IP54
顯示	上段:瞬時流量6位LED 下段:累計流量8位LED	上段:瞬時流量5位LCD 下段:累計流量7位LCD
輸出	模擬: DC4 ~ 20mA 累計脈沖:開路集電極 數(shù)字: RS-485
搭載功能	標準:自我診斷功能 可選:溫度補償	標準:自我診斷功能 選購件:溫度壓力補償
電源	a c100、110、115 v±10 % AC 200、220、240 v±10 %	AC90~264V 50/60Hz
精度	2.0% F.S.±1digit	1.0% F.S.±1digit

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