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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 超聲波 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 1萬-3萬 | 介質(zhì)分類 | 液體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,農(nóng)林牧漁,石油,制藥/生物制藥 |
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
日本東京計(jì)裝超聲波流量計(jì)
UCUF-M系列液體用超聲波流量計(jì)是專為超純水和各種藥液等小流量測量而設(shè)計(jì)的流量計(jì)，由UCUF-M型檢測器和SFC型變換器構(gòu)成。 UCUF型檢測器的接液部全部由面向半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的PFA構(gòu)成，沒有運(yùn)行部，也沒有容易產(chǎn)生積液的o型圈等機(jī)械密封部。 因?yàn)槭抢硐氲臐崈魳?gòu)造，半導(dǎo)體裝置等要求潔凈度的工藝的流量計(jì)。
SFC型變換器明顯減輕了對半導(dǎo)體工藝、藥液工藝等問題的流體中氣泡的影響。 為了適應(yīng)各種藥液，配備了消除流體運(yùn)動(dòng)粘度影響的補(bǔ)償功能。 DIN導(dǎo)軌安裝型節(jié)省空間。 可通過RS485通信功能集中管理進(jìn)程
特長
EMC標(biāo)準(zhǔn): EN61326-1
支持RoHS
統(tǒng)一為連接氣管間距80 mm
運(yùn)動(dòng)粘度40 mm2多可測量/s的高粘度流體
精度在指示值的±1%以內(nèi)(流速1 m/s以上時(shí))
寬范圍性能(代表值100 : 1 )
理想潔凈結(jié)構(gòu)的檢測器
耐腐蝕，安裝方便
主要用途
半導(dǎo)體制造工藝純水超純水的流量測定
各種藥液注入工藝的流量測定
高腐蝕性液體的流量測量
CMP漿料流量測量
其他小~中口徑工藝液體流量測量
清洗裝置、CMP裝置的流量測量控制
日本東京計(jì)裝超聲波流量計(jì)
主要規(guī)格
檢測器規(guī)格
| 測量對象 | 全部液體(不含氣泡的液體和PFA不得透過或侵蝕) |
|---|---|
| 標(biāo)稱口徑 | 2.5、4 (連接1/4 )、4 (連接3/8 )、6、10、15、20mm |
| 流量范圍 | 大0 ~ 80 L/min 小0 ~ 0.01 L/min |
| 測量精度 | 指示值的±1.0% (流速1m/s以上) 大18.8至80l/min 小0.025 ~ 0.1L/min |
| 關(guān)于流速低于1m/s的精度，請參照樣本PDF。 大0~ 18.8L/min 小0~ 0.025L/min | |
| 流體溫度 | 10 ~ 90 ℃ |
| 流體壓力 | 0 ~ 0.5 MPa |
| 音速范圍 | 1000 ~ 2200 m/S |
| 流體運(yùn)動(dòng)粘度 | 0.8 ~ 40 mm2/s |
| 接液部材質(zhì) | PFA |
| 進(jìn)程連接 | PFA氣管末端 |
| 電纜 | 附帶2根同軸電纜，電纜長度5 m (長可支持30 m的延長電纜) |
| 連接器型 | 中小型企業(yè)、BNC |
| 結(jié)構(gòu) | IP65 |
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