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在產(chǎn)品開發(fā)中，掃描式激光測(cè)振儀能可靠、精確地完成振動(dòng)測(cè)量任務(wù)。振型和本征模式檢測(cè)有助于解決從 NVH、聲學(xué)和結(jié)構(gòu)動(dòng)力學(xué)到超聲波分析、FEM驗(yàn)證和無損測(cè)試一切問題。
產(chǎn)品分類品牌分類
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氣動(dòng)薄膜高壓?jiǎn)巫{(diào)節(jié)閥 氣動(dòng)薄膜小口徑單座調(diào)節(jié)閥 氣動(dòng)薄膜角形調(diào)節(jié)閥 氣動(dòng)薄膜三通調(diào)節(jié)閥 氣動(dòng)薄膜多級(jí)降壓低噪音調(diào)節(jié)閥 美國PARKER閥 意大利burocco閥 意大利burocco布魯克截止閥 德國GEMÜ蓋米閥 瑞士WEKA閥 德國FESTO閥 德國AIRCOM閥 德國Rexroth閥門 德國KRACHT閥門 袋配SBFEC閥 德國HYDAC閥 美國CIR-LOK閥門 美國masonilan閥 意大利CALEFFI閥 德國GSR閥 芬蘭美卓閥門 德國布赫BUCHER閥 日本KOGANEI閥 德國DUNGS閥 SBFEC閥門 美國博雷Bray閥 芬蘭美卓METSO閥門 德國KSB閥 日本KOSO閥 美國FLOWSERVE閥 德國RICKMEIER閥 德國布赫BUCHER控制閥 德國EMG閥 美國FISHER閥門 德國HAWE閥 德國AIRCOM調(diào)壓閥 韓國TPC閥 韓國TKC閥 中國臺(tái)灣金器Mindman閥 中國臺(tái)灣AIRTAC閥 日本YAMATAKE閥 日本TOKIMEC閥 日本油研YUKEN閥 意大利ODE閥 意大利ATOS閥 美國SUN閥 美國Posi-flate閥 美國TESCOM閥 美國MAC閥 美國ASCO閥 美國MOOG閥 德國BURKERT閥 日本CKD喜開理電磁閥 文丘里角閥? 微壓調(diào)節(jié)閥 O型球閥? 三通調(diào)節(jié)閥? 單座調(diào)節(jié)閥
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
德國POLYTEC激光測(cè)振儀原裝正品
非接觸式振動(dòng)測(cè)量
自然和科技領(lǐng)域的振動(dòng)測(cè)量需要靈活和理想的無損檢測(cè)工具，非接觸式激光多普勒測(cè)振儀無疑是較佳選擇。在工業(yè)研究和開發(fā)中, 激光測(cè)振儀被用于研究不同尺寸物體的動(dòng)態(tài)和聲學(xué)特性, 從整個(gè)車身、飛機(jī)部件、發(fā)動(dòng)機(jī)和建筑物到MEMS系統(tǒng)和數(shù)據(jù)硬盤組件。
其已被廣泛地應(yīng)用于機(jī)械工程、聲學(xué)及其它工程學(xué)科和科學(xué)領(lǐng)域中，甚至可以對(duì)熱物體、旋轉(zhuǎn)表面、超聲波工具和復(fù)雜敏感的結(jié)構(gòu)進(jìn)行測(cè)量。
激光多普勒測(cè)振儀
德國Polytec公司專業(yè)從事激光測(cè)振儀的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，已經(jīng)成為*的非接觸式振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)的，能為客戶提供在科研、開發(fā)、生產(chǎn)和長(zhǎng)期監(jiān)測(cè)中，所面臨的所有與振動(dòng)相關(guān)問題的完整有效解決方案。Polytec產(chǎn)品種類齊全：?jiǎn)吸c(diǎn)或差分測(cè)量，旋轉(zhuǎn)或面內(nèi)振動(dòng)測(cè)量，MEMS系統(tǒng)的顯微式振動(dòng)測(cè)量，或大型物體的結(jié)構(gòu)振動(dòng)。
德國POLYTEC激光測(cè)振儀原裝正品
MSA-600顯微式激光測(cè)振儀
表面形貌、動(dòng)態(tài)運(yùn)動(dòng)分析及可視化是MEMS器件等微型結(jié)構(gòu)的測(cè)試和研發(fā)的關(guān)鍵，這對(duì)于驗(yàn)證有限元算法、確定串?dāng)_效應(yīng)和測(cè)量表面形變是*的。
MSA-600是集面外振動(dòng)、面內(nèi)振動(dòng)、及表面形貌測(cè)量功能于一體的光學(xué)測(cè)量工作站。系統(tǒng)具有*的靈活性和精度，以滿足顯微結(jié)構(gòu)未來的發(fā)展需要。顯微式激光測(cè)振儀可提供精確的三維動(dòng)態(tài)和靜態(tài)響應(yīng)數(shù)據(jù)，在降低開發(fā)和制造成本的同時(shí)提高產(chǎn)品性能，從而縮短設(shè)計(jì)周期，簡(jiǎn)化故障處理，提高產(chǎn)品產(chǎn)量。
典型應(yīng)用
· 微型結(jié)構(gòu)的面外振動(dòng)，測(cè)量單點(diǎn)振動(dòng)或者兩點(diǎn)間的相對(duì)振動(dòng)
如：梳齒驅(qū)動(dòng)器、射頻MEMS開關(guān)、FEM有限元模型驗(yàn)證、CMUT、PMUT超聲換能器、MEMS薄膜壓力傳感器、PZT壓電懸臂梁等
· 微型結(jié)構(gòu)的面內(nèi)振動(dòng)
如：梳齒驅(qū)動(dòng)器、MEMS扭轉(zhuǎn)激振器、壓電陶瓷制動(dòng)器的橫向運(yùn)動(dòng)
· 微型結(jié)構(gòu)的表面形貌
如：梳齒驅(qū)動(dòng)器、微型齒輪、微流量傳感器、懸臂梁等表面形貌
· 集多功能于一體的光學(xué)測(cè)量工作站
· 真正的實(shí)時(shí)測(cè)量，無需數(shù)據(jù)后處理
· 的亞pm位移分辨率
· 測(cè)量速度快，振型可視化顯示
· 操作界面直觀友好
· 全自動(dòng)化測(cè)量，易于集成至商用探針臺(tái)上
MSA-600系統(tǒng)配置 | |
基本配置 | 面外振動(dòng)大頻率為2.5 MHz |
選配件 | |
頻率擴(kuò)展 | 面外振動(dòng)大頻率達(dá)25 MHz |
差分測(cè)量 | 面外振動(dòng)可進(jìn)行差分測(cè)量 |
面內(nèi)運(yùn)動(dòng)分析 | 面內(nèi)振動(dòng)測(cè)量 |
形貌測(cè)量 | 表面形貌測(cè)量 |
面外振動(dòng)測(cè)量 | ||
測(cè)量原理 | 激光多普勒原理 | |
型號(hào) | MSA-600-M (標(biāo)準(zhǔn)) | MSA-600-V (帶寬擴(kuò)展) |
大頻率 | 2.5 MHz | 25 MHz |
檔位數(shù)量 | 13 個(gè)速度檔位 | 13 個(gè)速度檔位 |
大振動(dòng)速度 | 0.001 m/s … 10 m/s,與檔位有關(guān) | 0.001 m/s … 10 m/s,與檔位有關(guān) |
速度分辨率均值1 | 0.005 (μm/s)/√Hz … 1 (μm/ s)/√Hz, 與檔位和頻率有關(guān) | 0.005 (μm/s)/√Hz … 2 (μm/s)/√Hz, 與檔位和頻率有關(guān) |
位移分辨率 | 50 fm/√Hz | 50 fm/√Hz |
面內(nèi)振動(dòng)測(cè)量 | ||
測(cè)量原理 | 頻閃法 | |
型號(hào) | MSA-600 帶面內(nèi)振動(dòng)測(cè)量模塊 | |
帶寬 | 1 Hz … 2.5 MHz | |
大速度 | > 0.1 m/s … 10 m/s（與鏡頭放大倍數(shù)有關(guān)） | |
鏡頭放大倍數(shù)2 | 1x … 100x | |
位移分辨率3 | 5 nm | |
時(shí)間分辨率 | 100 ns (頻閃曝光時(shí)間); 頻閃大間隔時(shí)間 ±40 ns | |
系統(tǒng)輸出 | 位移量、波特圖、階躍響應(yīng)、衰減曲線、軌跡圖等 | |
1 均值是根據(jù)所在檔位的大頻率fmax計(jì)算而來。
2 鏡頭的具體技術(shù)參數(shù)請(qǐng)見后附表格。
3 隔振臺(tái)上每個(gè)頻率512次頻閃次數(shù)的本底噪聲。
形貌測(cè)量 | ||
型號(hào) | MSA-600 帶形貌測(cè)量模塊 | |
垂直測(cè)量范圍 | 250 μm | |
標(biāo)稱樣本增量 | 80 nm | |
評(píng)估程序4 | 光滑表面 | 粗糙表面 |
分辨率(RMS) 5 | 45 pm | 1.2 nm |
單次測(cè)量分辨率(RMS) | 300 pm | 14 nm |
可重復(fù)精度6 | 500 pm | 20 nm |
評(píng)估平整度偏差7 | < 5 nm | < 50 nm |
可溯源校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)(PTB Type A1 (ISO 5436-1) | ||
可重復(fù)精度8 | 0.07 % | |
擴(kuò)展不確定度9 | 0.35 % | |
4“光滑表面”：自相關(guān)相位評(píng)估。“粗糙表面”自相關(guān)譜包絡(luò)線評(píng)估
5 在阻尼振動(dòng)溫控條件下，對(duì)鍍銀、平行對(duì)齊平面鏡的50次幅值的均方根值。
6 稍傾斜平行板(λ/ 20)100次平整度測(cè)量結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)偏差
7 平面度的平均值（遵循ISO 1101）
8 30次階躍高度測(cè)量的均方根偏差，校準(zhǔn)的階躍高度標(biāo)稱為50μm。
9 在重復(fù)條件下，將30次連續(xù)測(cè)量值的標(biāo)準(zhǔn)不確定度與標(biāo)稱值偏差相加。組合標(biāo)準(zhǔn)不確定度是標(biāo)稱不確定度和測(cè)量結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)偏差的二次均方根值。
光學(xué)部分技術(shù)參數(shù) | |
MSA-I-600 光學(xué)頭 | |
激光波長(zhǎng) | 532 nm |
激光安全等級(jí) | class 3R (可見光輸出小于5 mW) |
照明光源波長(zhǎng) | 470 nm |
照明光源安全等級(jí) | class 2 LED 燈(可見光輸出小于20 mW) |
攝像機(jī) | 全場(chǎng)逐行掃描 |
攝像機(jī)分辨率 | 1732 x 1200 像素 |
攝像機(jī)幀速 | 大 56 fps |
面外面內(nèi)顯微鏡頭 | 放大倍數(shù) | 工作距離 (WD) mm | 光斑直徑 (1/e2) μm | 視場(chǎng) mm x mm |
A-MOB-001X | 1 | 13 | 46 | 10.0 x 7.0 |
A-MOB-002X | 2 | 34 | 23 | 5.1 x 3.5 |
A-MOB-005X | 5 | 34 | 9.3 | 2.0 x 1.4 |
A-MOB-010X | 10 | 33.5 | 4.6 | 1.0 x 0.7 |
A-MOB- 010B-LD | 10 | 48.9 | 4.6 | 1.0 x 0.7 |
A-MOB-020X | 20 | 20 | 2.3 | 0.51 x 0.35 |
A-MOB-050X | 50 | 13 | 1.4 | 0.20 x 0.14 |
A-MOB-100X | 100 | 6 | 0.8 | 0.10 x 0.07 |
形貌顯微鏡頭 | 放大倍數(shù) | 工作距離 (WD) mm | 類型 | 視場(chǎng) mm x mm |
A-IOB-02X5-B | 2.5 | 10.3 | Michelson | 4.0 x 2.8 |
A-IOB-005X-B | 5 | 9.3 | 2.0 x 1.4 | |
A-IOB-010X-B | 10 | 7.4 | Mirau | 1.0 x 0.7 |
A-IOB-020X-B | 20 | 4.7 | 0.51 x 0.35 | |
A-IOB-050X-B | 50 | 3.4 | 0.20 x 0.14 | |
A-IOB-100X-B | 100 | 2 | 0.10 x 0.07 |