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　　簡(jiǎn)介

　　Sievers*M9e總有機(jī)碳（TOC）分析儀的“加壓集成在線取樣器（PiOS，Pressurized Integrated On-Line Sampler）"配件專用于加強(qiáng)微電子應(yīng)用中的超純水（UPW）系統(tǒng)的有機(jī)物監(jiān)測(cè)能力。在微電子應(yīng)用中（TOC通常小于5 ppb），監(jiān)測(cè)水質(zhì)的微小變化至關(guān)重要，能夠確保最終產(chǎn)品質(zhì)量和優(yōu)化處理工藝。

　　當(dāng)要監(jiān)測(cè)的濃度很低時(shí)，總碳（TC）和無機(jī)碳（IC）的值非常接近，因此TOC測(cè)量值（TOC=TC-IC）會(huì)受信噪等干擾因素的影響。周圍環(huán)境中的微氣泡就是這種干擾源之一，會(huì)導(dǎo)致意外的TOC峰值。PiOS能給分析儀中的樣品加壓3-5 psig，抑制氣泡的形成，確保分析儀在低濃度下進(jìn)行準(zhǔn)確的分析。

　　驗(yàn)證Pios

　　在下列條件下進(jìn)行測(cè)試，驗(yàn)證配置了“加壓集成在線取樣器（PiOS）"和“標(biāo)準(zhǔn)集成在線取樣器（iOS）"的分析儀的低TOC分析性能：

　　?正常運(yùn)行模式

　　?Turbo運(yùn)行模式

　　?各標(biāo)樣的TOC回收率

　　?各種環(huán)境溫度、入口壓力、樣品溫度PiOS不影響系統(tǒng)任務(wù)的運(yùn)行，其中包括校準(zhǔn)、確認(rèn)、儀器檢測(cè)限等系統(tǒng)任務(wù)。在微電子車間進(jìn)行的外部測(cè)試的結(jié)果表明，使用PiOS時(shí)能夠報(bào)告穩(wěn)定的亞ppb級(jí)的TOC分析結(jié)果。本文將在后面的部分中詳細(xì)報(bào)告此驗(yàn)證的結(jié)果。

　　降低噪聲和峰值

　　與標(biāo)準(zhǔn)iOS相比，PiOS能夠減少低TOC分析結(jié)果中的TOC峰值和點(diǎn)對(duì)點(diǎn)噪聲（見圖1a和1b）。

　　此外，在長(zhǎng)時(shí)間的低TOC（<1 ppb）測(cè)試中，PiOS能夠報(bào)告穩(wěn)定的結(jié)果和可靠的“儀器到儀器"一致性，如圖2所示。

　　與配置標(biāo)準(zhǔn)iOS的Sievers 900 TOC分析儀相比，配置PiOS的Sievers M9e TOC分析儀的分析結(jié)果顯示出更好的穩(wěn)定性和更少的小尖峰（圖3）。

　　結(jié)論

　　PiOS在低濃度（< 5 ppb TOC）應(yīng)用中有更好的有機(jī)物監(jiān)測(cè)性能，其良好的穩(wěn)定性、準(zhǔn)確性、“儀器到儀器"一致性對(duì)監(jiān)測(cè)超純水系統(tǒng)來說至關(guān)重要。PiOS可安裝于Sievers M9e便攜式分析儀和在線型分析儀，可以安裝在新分析儀上，也可以作為現(xiàn)有分析儀的升級(jí)配置。

　　有了PiOS，M9e就能有效監(jiān)測(cè)整個(gè)超純水處理過程中的有機(jī)污染物，如有機(jī)氮化合物和有機(jī)酸。PiOS能夠不受干擾，提供穩(wěn)定、準(zhǔn)確、可靠的分析數(shù)據(jù)，從而優(yōu)化分析儀的在線TOC分析，更有效地監(jiān)測(cè)低ppb甚至亞ppb級(jí)的超純水系統(tǒng)。

　　參考文獻(xiàn)：

　　1.Operation,Calibration,and Autozero Guidance for TOC Monitoring in Microelectronics UPW Applications.GE Analytical Instruments.2015.Web.2 Jun 2016.

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