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            Sievers Boron Ultra超純水硼分析儀:新功能

            閱讀:61      發(fā)布時(shí)間:2025-03-05
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            Sievers Boron Ultra在線型UPW硼分析儀是新一代的超純水(UPW,Ultrapure Water)硼分析儀,能檢測(cè)萬(wàn)億分之一(ppt)的溶解硼濃度。Boron Ultra分析儀是市面上僅有的一款實(shí)時(shí)在線型硼分析儀,幫助許多微電子制造商和超純水系統(tǒng)擁有者連續(xù)監(jiān)測(cè)硼控制工藝,滿足“國(guó)際器件與系統(tǒng)路線圖(IRDS,International Roadmap for Devices and Systems)"有關(guān)超純水的規(guī)格要求(即50 ppt)。

            Sievers Boron Ultra分析儀能夠檢測(cè)到二氧化硅釋放前硼的增加,有助于防止二氧化硅泄漏到超純水中。此款分析儀能夠主動(dòng)檢測(cè)到從工藝(如混合樹(shù)脂床離子交換工藝和電子去離子化工藝)中釋放出來(lái)的二氧化硅和其它離子污染物,從而幫助用戶提高有效產(chǎn)出和降低離子交換工藝成本。

            本文件介紹新款Sievers Boron Ultra的主要亮點(diǎn),以及與舊款硼分析儀的比較。


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            威立雅Sievers分析儀

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