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橫河EJA110A單晶硅諧振工作原理
閱讀：904 發(fā)布時間：2019-11-29
橫河EJA110A差壓送器是雙引壓口式。在位于高壓側(cè)和低壓側(cè)的金屬膜片受到過程壓力，通過密封液分別傳送到單晶硅片的上下兩面。在單晶硅片中，有2個振子腔體，2個振子的固有頻率之差就是差壓信號。
真空腔體中的振子是經(jīng)過精細加工的(H型諧振梁的長約700µm，寬約25µm，厚約5µm)。由于振子H型諧振梁的4端與單晶硅連接，所以當單晶硅變形時，振子振動頻率與壓力差成正比例，固有振動頻率發(fā)生變化。
通過永磁體給振子一個磁場，振子的半片和剩余的半片構(gòu)成一個勵磁電路，測量出該電路的固有頻率，將該固有頻率與另一個振子的固有頻率之差轉(zhuǎn)換成差壓信號。將差壓信號轉(zhuǎn)換成4-20mA、脈沖或數(shù)字信號輸出。