德國PI位移平臺將亞納米分辨率和導(dǎo)向精度與小串?dāng)_相結(jié)合。這使其特別適合于計(jì)量學(xué)，超分辨率顯微鏡，干涉測量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的應(yīng)用。壓電撓性位移臺可用于毫秒級的精確定位和動(dòng)態(tài)掃描，在高達(dá)6個(gè)自由度的情況下可達(dá)幾百赫茲。

德國PI位移平臺

I的壓電撓性位移臺將亞納米分辨率和導(dǎo)向精度與小串?dāng)_相結(jié)合。這使其特別適合于計(jì)量學(xué)，超分辨率顯微鏡，干涉測量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的應(yīng)用。壓電撓性位移臺可用于毫秒級的精確定位和動(dòng)態(tài)掃描，在高達(dá)6個(gè)自由度的情況下可達(dá)幾百赫茲。

專有的傳感器設(shè)計(jì)，無摩擦的撓性導(dǎo)軌和長壽命的PICMA®壓電執(zhí)行器的*結(jié)合，帶來了出色而堅(jiān)固的機(jī)械性能。壓電運(yùn)動(dòng)控制器支持定位和掃描性能優(yōu)化，并且可以輕松地通過數(shù)字或模擬接口進(jìn)行集成，并進(jìn)行舒適的編程。

多軸壓電撓性位移臺

PI的多軸壓電撓性位移臺可在多達(dá)6個(gè)軸上以亞納米級的精度進(jìn)行定位和掃描，包括，傾斜和偏航運(yùn)動(dòng)。版本范圍從緊湊的立方體設(shè)計(jì)到大孔徑和薄型。

XYZ掃描儀是定位技術(shù)的方位工具。應(yīng)用包括樣品調(diào)整，技術(shù)，光學(xué)計(jì)量，光纖定位和光子學(xué)以及原子力顯微鏡。

所有壓電納米定位系統(tǒng)均已出廠校準(zhǔn)，并隨測量記錄一起提供。 

XYZ緊湊型壓電立方體

P-616NanoCube®納米定位器
緊湊的并聯(lián)運(yùn)動(dòng)壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對準(zhǔn)

P-611.3NanoCube®XYZ壓電系統(tǒng)
緊湊的多軸壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對準(zhǔn)

P-363 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀
高動(dòng)態(tài)納米定位系統(tǒng)，用于掃描探針顯微鏡

P-313 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀
皮克計(jì)精度高帶寬，用于掃描探針顯微鏡
帶有孔的XYZ壓電位移臺

P-733.3 XYZ壓電納米定位器
高精度XYZ光圈掃描儀

P-561•P-562•P-563 PIMars納米定位臺
高精度納米定位器，多可容納3個(gè)軸

P-517•P-527多軸壓電掃描儀
高動(dòng)態(tài)納米定位儀/掃描儀，具有直接位置測量功能
Z //傾斜壓電撓性位移臺

P-541.2•P-542.2 XY壓電平臺
大口徑薄型XY納米定位系統(tǒng)

P-541.Z•P-541.T壓電Z平臺/ Z和傾斜/傾斜平臺
薄型，大光圈

P-518•P-528•P-558壓電Z / Tip / Tilt平臺
大光圈高動(dòng)態(tài)
6軸壓電位移臺

P-587 6軸精密壓電位移臺
長行程，直接位置測量

P-562.6CD PIMars 6軸納米定位平臺
具有6個(gè)自由度的高精度納米定位器

 

用于顯微鏡的PIFOC®物鏡和PInano®樣品掃描儀

PIFOC®和PInano®系列的壓電撓性位移臺和物鏡掃描儀在定位和掃描任務(wù)方面具有很高的動(dòng)態(tài)性。標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品提供了適用于XY樣品平行于和垂直于光軸定位以及物鏡Z聚焦的解決方案。

平臺也可以在系統(tǒng)中方便地與控制器，所有必需的連接電纜和軟件一起使用。像所有壓電系統(tǒng)一樣，顯微鏡載物臺和掃描儀也已通過測量記錄進(jìn)行了預(yù)校準(zhǔn)。 

 

 

XY壓電撓性位移臺

高精度的2軸納米定位系統(tǒng)集成了PICMA®壓電執(zhí)行器，以實(shí)現(xiàn)大的可靠性。通過使用高質(zhì)量的納米計(jì)量傳感器，可以實(shí)現(xiàn)具有佳穩(wěn)定性的可重復(fù)，無漂移的定位。

用于小負(fù)載的2軸壓電掃描儀經(jīng)常用于掃描和跟蹤過程。它們的快速步進(jìn)運(yùn)動(dòng)提高了光學(xué)系統(tǒng)的分辨率。這些包括相機(jī)技術(shù)中的成像過程和圖像識別，例如用于生物識別或文檔存檔。

 

緊湊型XY壓電位移臺

P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ納米定位器
用于納米定位的緊湊型兩軸壓電系統(tǒng)

P-620.2 – P-629.2 PIHera XY壓電平臺
行程范圍可變的高精度XY納米定位器
XY壓電撓性位移臺

P-612.2 XY壓電納米定位系統(tǒng)
緊湊，帶光圈

P-541.2•P-542.2 XY壓電平臺
大口徑薄型XY納米定位系統(tǒng)

P-733.2 XY壓電納米定位器
高精度XY光圈掃描儀
PI P-734.2CL
P-734 XY壓電掃描儀
具有小跳動(dòng)和清晰光圈的高動(dòng)力系統(tǒng)
PI P-763
P-763緊湊型XY納米定位系統(tǒng)
光圈清晰
低剖面，經(jīng)濟(jì)高效的壓電掃描儀，用于生物識別：CCD芯片可在兩個(gè)軸上動(dòng)態(tài)移動(dòng)，以提高像素分辨率
P-713 XY壓電掃描儀
具有成本效益的低矮OEM系統(tǒng)

P-545.xR8SPInano®XY（Z）壓電系統(tǒng)
用于高分辨率顯微鏡的廉價(jià)納米定位系統(tǒng)

P-545.xC8SPInano®Cap XY（Z）壓電系統(tǒng)
電容位置測量，用于超高分辨率顯微鏡

P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統(tǒng)
快速XY（Z）平臺用于高動(dòng)態(tài)顯微鏡

 

德國PI位移平臺