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深圳市普索進(jìn)出口貿(mào)易有限公司（普索貿(mào)易）是一家專業(yè)經(jīng)營工控行業(yè)備件進(jìn)口的公司，公司依托德國分公司在歐盟區(qū)域常年的采購經(jīng)驗(yàn)，與歐盟境內(nèi)3000多個(gè)工控品牌，5000多家供應(yīng)商建立起長久的合作，為客戶提供100％原裝正品的工業(yè)產(chǎn)品及零部件的同時(shí)提供優(yōu)質(zhì)的價(jià)格及服務(wù)。

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半導(dǎo)體材料中的載流子濃度直接決定著半導(dǎo)體的導(dǎo)電能力，因此要制造出符合要求的半導(dǎo)體器件，必須定量地研究載流子濃度的影響因素。

半導(dǎo)體中有空穴和電子兩種載流子，半導(dǎo)體中的電流是這兩種載流子定向移動(dòng)形成的電流之和。

空穴濃度和電子濃度分別用  和  表示，單位為  或  ，實(shí)際常用  作單位。

一、有關(guān)電子與能級(jí)的基本概念

1.1 能級(jí)與能帶

能級(jí)：由量子物理，束縛態(tài)電子的能量是量子化的（一系列離散值），每一個(gè)能量值對應(yīng)于一個(gè)能級(jí)(Energy Level)。

【注：從數(shù)學(xué)上講，束縛態(tài)電子能量量子化的根本原因在于在勢阱中的薛定諤方程（它給出了描述電子出現(xiàn)概率的波函數(shù)  與位置  ，時(shí)間  所滿足的微分關(guān)系）的正弦解具有周期性，從而電子的能量由正整數(shù)決定而取一系列離散值?！?/p>

能帶：當(dāng)N個(gè)原子（阿伏加德羅常數(shù)數(shù)量級(jí)）集聚成晶體時(shí)，由于之間能量的相互影響，原本孤立的原子的能級(jí)會(huì)分裂為N個(gè)能級(jí)，這些間距很小的能級(jí)所形成的能量近似連續(xù)的區(qū)域稱為能帶（Energy Band）。如鈉晶體的3s能帶，3p能帶等。

禁帶，允帶：允許電子出現(xiàn)的能帶稱為允帶(Allowed/Permissible Band)。相應(yīng)地，不存在可能的量子態(tài)（即電子不可能出現(xiàn)）的能量區(qū)域稱為禁帶(Forbidden Band)。

在允帶中，比較特殊的兩個(gè)是價(jià)帶和導(dǎo)帶。

價(jià)帶，導(dǎo)帶：0K時(shí)，晶體中最上面有電子存在的能帶稱為價(jià)帶(Valence Band)。價(jià)帶上面相鄰的空白能帶稱為導(dǎo)帶(Conduction Band)。

費(fèi)米能級(jí)：0K時(shí)，能量高于  的能級(jí)沒有電子分布，而能量低于  的能級(jí)上每個(gè)量子態(tài)都有一個(gè)電子，這一能級(jí)  稱為費(fèi)米能級(jí)。（顯然費(fèi)米能級(jí)的位置與電子是否可能出現(xiàn)在該位置無關(guān)，即費(fèi)米能級(jí)既可能在允帶中，也可能在禁帶中）

PS：按量子理論，電子在0K時(shí)是有能量的。因此把費(fèi)米能級(jí)套在經(jīng)典理論上會(huì)出現(xiàn)佯謬。例如：0K時(shí)，如果令  ，則在費(fèi)米能級(jí)的電子具有量級(jí)為  的速度（費(fèi)米速度），而按經(jīng)典理論電子是靜止的；又如，如果令  （  為玻爾茲曼常量），則金屬有高達(dá)  的溫度（費(fèi)米溫度），而實(shí)際溫度是0K！

禁帶寬度：導(dǎo)帶底與價(jià)帶頂之間的能量差稱為禁帶寬度  。 

1.2 從能帶角度看導(dǎo)體、絕緣體、半導(dǎo)體

導(dǎo)體：價(jià)帶中有電子且未被電子填滿的晶體是導(dǎo)體。當(dāng)外加電場時(shí)，價(jià)帶電子被加速形成電流。

絕緣體：0K時(shí)，價(jià)帶被電子填滿，導(dǎo)帶空白，且禁帶較寬的晶體是絕緣體。一般地，升高溫度或外加電壓都難以使價(jià)帶電子獲得足夠的能量躍入導(dǎo)帶，因此絕緣體導(dǎo)電能力差。

半導(dǎo)體：0K時(shí)，價(jià)帶被電子填滿，導(dǎo)帶空白，且禁帶較窄的晶體是半導(dǎo)體。半導(dǎo)體在常溫（例如300K）時(shí)就有一定量電子在導(dǎo)帶中，溫度升高時(shí)，更多電子受激躍入導(dǎo)帶，導(dǎo)電能力明顯增強(qiáng)。

二、半導(dǎo)體載流子濃度與載流子能量的關(guān)系

[注：本節(jié)討論均在半導(dǎo)體無外加電壓（即熱平衡）狀態(tài)下進(jìn)行]

載流子數(shù)量計(jì)算基本原理：載流子濃度=載流子總數(shù)的可能最大值  載流子出現(xiàn)概率

i.e. 載流子濃度=量子態(tài)密度  費(fèi)米-狄拉克分布函數(shù)

2.1 量子態(tài)密度

單位體積，單位能量中載流子總數(shù)的最大值（即可能的量子態(tài)總數(shù)）稱為量子態(tài)密度。導(dǎo)帶量子態(tài)密度用  表示，價(jià)帶量子態(tài)密度用  表示。

量子態(tài)密度與載流子動(dòng)能的平方根成正比。公式是：

在 中，導(dǎo)帶電子量子態(tài)密度 

價(jià)帶空穴量子態(tài)密度

解釋：①  為空穴或電子的有效質(zhì)量（考慮晶格對載流子束縛作用的等效質(zhì)量）。普朗克常數(shù) 

②設(shè)導(dǎo)帶中電子的能量為  ，將導(dǎo)帶底的能量  視作電子的勢能，那么  即為電子的動(dòng)能。同理，價(jià)帶頂能量  與空穴能量的差值  即為價(jià)帶中空穴的動(dòng)能。

2.2 費(fèi)米-狄拉克分布

在一定溫度  下，能量為  的電子出現(xiàn)在某一量子態(tài)的概率為

相應(yīng)地，能量為  的空穴出現(xiàn)在某一量子態(tài)（即某一量子態(tài)為空）的概率為  。

解釋：①  為該溫度下的費(fèi)米能級(jí)。根據(jù)此式，費(fèi)米能級(jí)也可以定義為：在一定溫度下，若能量為  的量子態(tài)被載流子占據(jù)的概率為1/2，則  為該溫度下的費(fèi)米能級(jí)。

②玻爾茲曼常量  。用關(guān)系 可以容易地驗(yàn)證這一數(shù)值。

有了量子態(tài)密度和費(fèi)米-狄拉克分布的表達(dá)式，就可以通過對能量在整個(gè)能帶中積分，得出單位體積內(nèi)電子的數(shù)目為  ，

空穴濃度為 。

(注：對于電子，當(dāng)能量增大時(shí)，由于費(fèi)米-狄拉克函數(shù)迅速趨于零，因此可將積分上限設(shè)定為+∞而不必使用導(dǎo)帶頂能量?？昭ㄍ矸粗?。)

三、半導(dǎo)體載流子濃度與半導(dǎo)體自身參數(shù)的關(guān)系

3.1 載流子濃度與能帶能量值Ec，Ev的關(guān)系

在第二節(jié)，我們得到了在無外加電壓（熱平衡）條件下，半導(dǎo)體載流子濃度與載流子能量之間的關(guān)系式。雖然載流子的能量是一個(gè)很難確定的值，但可以看到，我們對能量進(jìn)行積分后，所得到的載流子濃度表達(dá)式就僅包含半導(dǎo)體自身參數(shù)（如價(jià)帶頂能量  ，導(dǎo)帶底能量  等等）和溫度了。因此，這一節(jié)我們首先要將載流子濃度的表達(dá)式計(jì)算出來。

在費(fèi)米-狄拉克分布函數(shù)的玻爾茲曼近似（  ）條件下，可以積分計(jì)算出半導(dǎo)體的導(dǎo)帶電子熱平衡濃度為

說明：①  的下標(biāo)0表示無外電壓的熱平衡態(tài)。

②  是與半導(dǎo)體材料和溫度有關(guān)的常數(shù)，稱為導(dǎo)帶有效狀態(tài)密度。  。

同理，半導(dǎo)體的價(jià)帶空穴熱平衡濃度為

3.2 載流子濃度與本征半導(dǎo)體參數(shù)的關(guān)系

上一節(jié)，我們雖然得出了載流子濃度不依賴于粒子能量的表達(dá)式，但依然依賴于導(dǎo)帶底、價(jià)帶頂?shù)哪芰恐礒c和Ev。本節(jié)將用更具有普遍意義的費(fèi)米能級(jí)和本征半導(dǎo)體的參數(shù)代替Ec和Ev。

本征半導(dǎo)體：純凈的具有晶體結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體。

本征半導(dǎo)體有兩個(gè)重要參數(shù)：本征載流子濃度，本征費(fèi)米能級(jí)。

(1)本征載流子濃度即為本征半導(dǎo)體中的載流子濃度。由于本征半導(dǎo)體中所有價(jià)電子都形成了共價(jià)鍵，自由電子數(shù)=空穴數(shù)，故通常用電子數(shù)  來表示本征載流子濃度。是半導(dǎo)體材料（即使是已經(jīng)摻雜了的半導(dǎo)體）的一個(gè)重要參數(shù)。

將  和  的表達(dá)式相乘，并考慮關(guān)系  ，可以得到

由上式可知：

①本征載流子濃度與材料，溫度和禁帶寬度有關(guān)，而與導(dǎo)帶、價(jià)帶、費(fèi)米能級(jí)無關(guān)。

②熱平衡狀態(tài)下，電子濃度 和空穴濃度 的乘積為定值。

(2)本征半導(dǎo)體的費(fèi)米能級(jí)稱為本征費(fèi)米能級(jí)。我們可以根據(jù)本征半導(dǎo)體  ，得出本征費(fèi)米能級(jí)在能帶中的具體位置。計(jì)算結(jié)果為

可見，本征費(fèi)米能級(jí)大約位于禁帶中央。

我們把這個(gè)關(guān)系式“拆開"，得出半導(dǎo)體（無論本征與否）電子、空穴濃度與本征載流子濃度，本征費(fèi)米能級(jí)的具體關(guān)系是

（注：這兩個(gè)公式的指數(shù)部分很好記，只需把上一節(jié)公式中的Ec，Ev對應(yīng)地?fù)Q成  即可）

3.3 載流子濃度與摻雜濃度的關(guān)系

設(shè)本征半導(dǎo)體中摻雜了濃度為  的提供電子的施主(Donor)雜質(zhì)(如磷)，又摻雜了濃度為  的接受電子的受主(Acceptor)雜質(zhì)(如硼)。設(shè)摻雜后電子、空穴濃度分別為 ，，由于本征半導(dǎo)體中電子濃度=空穴濃度，故有  ，又，聯(lián)立求解并舍去負(fù)根得

這一結(jié)果表明，在高摻雜狀態(tài)（本征濃度相對摻雜濃度可以忽略）下，直接  是一個(gè)很好的近似。

四、半導(dǎo)體中的電流——載流子的輸運(yùn)

前三節(jié)，我們建立了半導(dǎo)體載流子濃度的表達(dá)式。本節(jié)將開始研究載流子的運(yùn)動(dòng)，也就是載流子輸運(yùn)現(xiàn)象。載流子的輸運(yùn)分為兩種基本形式：擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)，漂移運(yùn)動(dòng)。擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)由濃度梯度引起，漂移運(yùn)動(dòng)由電場引起。

4.1 漂移運(yùn)動(dòng)(Drift)

歐姆定律的微分形式給出漂移電流密度為

 ——遷移率

上式是空穴和電子的電流密度之和。由于電子的(-e)和電場力作用方向(-E)抵消，因此兩個(gè)電流用加號(hào)連接。

上式同時(shí)給出了電導(dǎo)率  （有些書上記為  ）的具體表達(dá)式。

4.2 擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)(Diffusion)

由于擴(kuò)散電流是從高濃度往低濃度擴(kuò)散，亦即同載流子濃度減小率成正比，因此擴(kuò)散電流密度為

 ——擴(kuò)散系數(shù)

總電流密度為

4.3 遷移率和擴(kuò)散系數(shù)的關(guān)系——愛因斯坦關(guān)系

愛因斯坦關(guān)系：在溫度一定時(shí)，遷移率與擴(kuò)散系數(shù)的比值為常數(shù)。

五、半導(dǎo)體中的過剩載流子

當(dāng)出現(xiàn)溫升、光照等外施激勵(lì)時(shí)，半導(dǎo)體中就會(huì)產(chǎn)生非平衡過剩載流子。本節(jié)簡要敘述非平衡載流子的濃度變化。過剩載流子濃度記作  ，  ，這兩者近似相等（電中性條件）。

5.1 雙極輸運(yùn)方程

由于電子和空穴之間存在吸引力（內(nèi)建電場），因此它們將會(huì)以“電子-空穴對"的形式一起運(yùn)動(dòng)，這就是雙極輸運(yùn)。

雙極輸運(yùn)：空穴和電子以相同的遷移率（或擴(kuò)散系數(shù)）一起漂移（或擴(kuò)散）的現(xiàn)象稱為雙極輸運(yùn)。

雙極輸運(yùn)方程： 

①雙極擴(kuò)散系數(shù) ，雙極遷移系數(shù) 

②E：電場強(qiáng)度，包括外電場和內(nèi)建電場（外電場是主要的）

③g，R：生成率，復(fù)合率。g可視為常數(shù)， 

由系數(shù)D'和μ'可知，這是一個(gè)變系數(shù)二階偏微分方程。

5.2 摻雜條件和小注入條件

p型半導(dǎo)體的摻雜條件： 

小注入條件： 

由這兩個(gè)條件，可將雙極輸運(yùn)方程轉(zhuǎn)化為常系數(shù)微分方程。

5.3 電荷弛豫

t=0向電中性半導(dǎo)體注入一些正電荷（或負(fù)電荷），恢復(fù)電中性的過程。

這個(gè)問題在《工程電磁場》中已經(jīng)出現(xiàn)過，方法是聯(lián)立電荷守恒方程  （J的四維散度等于0），歐姆定律  和庫侖定律  ，解得電荷密度的擴(kuò)散方程為  。

5.4 準(zhǔn)費(fèi)米能級(jí)

過剩載流子產(chǎn)生后，電子/空穴對應(yīng)的費(fèi)米能級(jí)，求解過程和前面類似。

 ， 

右端代數(shù)式的記憶方法：先記n的。①永遠(yuǎn)是e的負(fù)指數(shù)②系數(shù)的下標(biāo)和e指數(shù)上第一項(xiàng)的下標(biāo)對應(yīng)（n_i對應(yīng)E_Fi）。p的就把指數(shù)項(xiàng)的兩個(gè)能級(jí)顛倒。