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原子力顯微鏡常見的五類探針概述

閱讀：2090 發(fā)布時間：2022-10-18

　　原子力顯微鏡是利用懸臂末端的尖針掃描樣品表面，懸臂的機(jī)械設(shè)計結(jié)構(gòu)帶來精確的懸臂定位。簡便的懸臂安裝，內(nèi)置傳感器的“自檢測懸臂”比普通原子力顯微鏡探頭大得多，便于攜帶和安裝。良好的擴(kuò)展功能通過激光檢測，可以擴(kuò)展各種可選功能。此外，激光檢測模式只能通過插拔一根電纜來切換。金屬屏蔽隔音盒，4倍目標(biāo)光學(xué)定位，無對焦，實時觀察和定位探頭樣品掃描區(qū)域。

　　原子力顯微鏡常見的五類探針概述：

　　1.非接觸/輕敲模式針尖及接觸模式探針

　　分辨率高，使用壽命一般。使用過程中探針不斷磨損，分辨率很容易下降。主要應(yīng)用于表面形貌觀察。

　　2.導(dǎo)電探針

　　通過對普通探針鍍10-50納米厚的Pt得到。導(dǎo)電探針應(yīng)用于EFM，KFM，SCM等。導(dǎo)電探針分辨率比tapping和contact模式的探針差，使用時導(dǎo)電鍍層容易脫落，導(dǎo)電性難以長期保持。導(dǎo)電針尖的新產(chǎn)品有碳納米管針尖、金剛石鍍層針尖、全金剛石針尖、全金屬絲針尖，這些新技術(shù)克服了普通導(dǎo)電針尖的短壽命和分辨率不高的缺點(diǎn)。

　　3.磁性探針

　　應(yīng)用于MFM，通過在普通tapping和contact模式的探針上鍍Co、Fe等鐵磁性層制備，分辨率比普通探針差，使用時導(dǎo)電鍍層容易脫落。

　　4.大長徑比探針

　　大長徑比針尖是專為測量深的溝槽以及近似鉛垂的側(cè)面而設(shè)計生產(chǎn)的。不太常用，分辨率很高，使用壽命一般。

　　5.類金剛石/全金剛石探針

　　一種是在硅探針的針尖部分上加一層類金剛石碳膜，另外一種是全金剛石材料制備。這兩種金剛石碳探針具有很大的耐久性，減少了針尖的磨損從而增加了使用壽命，但后者的價格也不菲。

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