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       真空手動多功能微型探針臺腔體設(shè)計有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機(jī)械泵可達(dá)＜5Pa分子泵可達(dá)＜-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針尖處由3軸可移動探針手動調(diào)節(jié)移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學(xué)信號

      真空手動多功能微型探針臺真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針尖處由3軸可移動探針手動調(diào)節(jié)移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學(xué)信號。

* 溫度可控，可控精度<0.1℃

* 真空度10-3至10-5Torr
* 防震動設(shè)計
* 測量范圍DC至67 GHz
* 多可容納100毫米晶圓
* 可配置多達(dá)四個微操縱探針臂（波紋管）
* 探針座微操作器行程±12mm
* 電纜線屏蔽、電氣噪聲、熱輻射損失降到低

* 可預(yù)留不同尺寸接口以備充入其它氣體使用

* 可預(yù)留接口以備安裝電子閥及流量計之用

* 顯微鏡觀察系統(tǒng)可選

   目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個系列幾十款產(chǎn)品，產(chǎn)品囊括實驗電爐   CVD供氣系統(tǒng)   等離子清洗機(jī)   小型離子濺射儀 小型蒸鍍儀  石英管真空封口   半導(dǎo)體檢測等。 主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究，廣銷于各大院校，及材料研究所。

   公司與國內(nèi)高校，科研院所有多層次的合作關(guān)系，建有開放實驗室，相關(guān)領(lǐng)域的教授、高級工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念，依靠嚴(yán)謹(jǐn)?shù)募夹g(shù)研發(fā)能力，科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝，精益求精的制造要求，全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作，科探儀器時刻懷著一顆真誠的心期待與您的合作。