目錄:鄭州科探儀器設(shè)備有限公司>>材料樣品處理>>等離子清洗機(jī)>> 等離子設(shè)備清洗機(jī)系統(tǒng)
| 參考價(jià) | 面議 |
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更新時(shí)間：2024-03-29 15:37:55瀏覽次數(shù)：1451評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
|---|
供電電源 | AC220V（AC110V可選) |
工作電流 | 整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵) |
射頻電源功率 | 150W |
射頻頻率 | 13.56MHz |
頻率偏移量 | ＜0.2MHz |
特性阻抗 | 50歐姆，手動(dòng)匹配 |
耦合方式 | 感應(yīng)耦合式（線圈耦合） |
真空度 | ≤100Pa |
腔體材質(zhì) | 高純石英 |
腔體容積 | 2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM) |
觀察窗內(nèi)徑 | Φ70 |
氣體流量 | 10—600ml/min（其他量程可選） |
過(guò)程控制 | 過(guò)程手動(dòng)控制 |
清洗時(shí)間 | 手動(dòng)開(kāi)關(guān) |
開(kāi)蓋方式 | 鉸鏈側(cè)開(kāi)式法蘭 |
外形尺寸 | 400x380x360mm |
重量 | 23Kg |
真空室溫度 | 小于65°C |
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
標(biāo)配 | KF16波紋管1米，kf16卡箍2個(gè)，電源線一根，說(shuō)明書(shū)一本。 |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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