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            目錄:鄭州科探儀器設(shè)備有限公司>>材料樣品處理>>等離子清洗機>> KT-S2DQX射頻電源光刻膠清洗等離子清洗機

            射頻電源光刻膠清洗等離子清洗機
            • 射頻電源光刻膠清洗等離子清洗機
            • 射頻電源光刻膠清洗等離子清洗機
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            參考價 面議
            具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            參考價 面議
            具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            • 品牌 鄭科探
            • 型號 KT-S2DQX
            • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
            • 所在地 鄭州市
            屬性

            產(chǎn)地類別:國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域:綜合

            >

            更新時間:2025-02-18 18:11:30瀏覽次數(shù):1301評價

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            射頻電源光刻膠清洗等離子清洗機,不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性,能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體,從而達(dá)到清洗的效果。
            射頻電源光刻膠清洗等離子清洗機介紹

            等離子體清洗的機理,主要是依靠等離子體中活性粒子的"活化作用"達(dá)到去除物體表面污漬的目的。等離子體清洗通常包括以下過程:無機氣體被激發(fā)為等離子態(tài);氣相物質(zhì)被吸附在固體表面;被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子;產(chǎn)物分子解析形成氣相;反應(yīng)殘余物脫離表面。等離子體清洗技術(shù)的最大特點是不分處理對象的基材類型,均可進(jìn)行處理,對金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料,可實現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。

            射頻電源光刻膠清洗等離子清洗機

            射頻電源光刻膠清洗等離子清洗機參數(shù)

            供電電源

            AC220V(AC110V可選)

            工作電流

            整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵)

            射頻電源功率

            150W

            射頻頻率

            13.56MHz

            頻率偏移量

            <0.2MHz

            特性阻抗

            50歐姆,手動匹配

            耦合方式

            電容耦合

            真空度

            ≤50Pa

            腔體材質(zhì)

            高純石英

            腔體容積

            2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM)

            觀察窗內(nèi)徑

            Φ50

            氣體流量

            0—50ml/min(其他量程可選)

            過程控制

            過程手動控制

            清洗時間

            手動開關(guān)

            開蓋方式

            鉸鏈側(cè)開式法蘭

            外形尺寸

            450x450x360mm

            重量

            23Kg

            真空室溫度

            小于65°C

            冷卻方式

            強制風(fēng)冷

            標(biāo)配

            KF16真空管1米,kf16卡箍2個,不銹鋼網(wǎng)匣1個,電源線一根,說明書一本。










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