如何選用羅茨真空泵的前級泵?
羅茨真空泵不能單獨(dú)使用,必須配上前級泵組成機(jī)組,使用前級真空泵是為了降低羅茨真空泵的排出壓力,由于羅茨真空泵的壓縮比是有限的,所以選擇前級真空泵的抽速是重要的,羅茨真空泵的大壓縮比是隨排出壓力而變化的,在高排出壓力下,大壓縮比多大3:1,而gao壓縮比是在排出壓力為1到10mbar之間(1 mbar=0.75Torr)可達(dá)50:1,甚至更高些。
因此,選擇前級泵的抽速,要根據(jù)羅茨真空泵的長期工作壓力范圍考慮。
例如有一系統(tǒng)用羅茨真空泵機(jī)組抽氣,要求在1 mbar入口壓力時有600升/秒的抽速,并長期工作,問應(yīng)選擇多大抽速的前級泵。
先假定用30升/秒的前級泵時,壓縮比K=600:30=20得出K=20時大排出壓力為30 mbar。
由此得出,當(dāng)選用30升/秒前級泵時,在入口壓力低于1.5 mbar以下工作是可行的,但高于1.5 mbar入口壓力工作時就選用大一些前級泵了。該例中,工作真空度1 mbar低于1.5 mbar,所以30升/秒的前級泵可以滿足上述真空系統(tǒng)的抽氣要求。
另外應(yīng)當(dāng)考慮的是,對預(yù)抽時間的要求問題,如果正常工作時間遠(yuǎn)比預(yù)抽時間長,可選較小的前級泵;假如真空室較大,而且要求很快預(yù)抽,就要用較大的前級泵,有時為了更好發(fā)揮設(shè)備的效率,機(jī)組裝有較大的預(yù)抽泵,在正常工作后停掉它,而用較小的前級泵維持,這樣做是為了節(jié)約功率。
對羅茨真空泵機(jī)組的極限壓力的要求,也是選擇前級泵的必須考慮的,對極限真空度要求較高(達(dá)1X10-3Pa~1X10-2 Pa壓力)一般選用雙級旋片式油封機(jī)械泵或雙級滑閥機(jī)械泵作為前級泵。極限真空度要求在(1X10-2 Pa~1X10-1Pa)之間可選用單級油封機(jī)械泵作為前級泵,極限真空度要求在133~1333Pa之間可選用往復(fù)式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級泵。
當(dāng)選用往復(fù)式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級泵時,前級泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2-1/4,不能太大,否則將使壓縮比過大,造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作。
選用前級泵時還必須考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質(zhì),是否含有可凝性氣體,是大量的還是微量的。如果含有腐蝕性氣體,就不能選用油封機(jī)械泵,油封機(jī)械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的氣體,否則將會使密封液很快乳化,抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時,也必須采用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機(jī)械泵作為前級泵。
①如果被抽氣體無特殊性,既無腐蝕性和毒性。又不是低蒸氣壓的氣體,如潔凈空氣等,應(yīng)首先考慮采用旋片式真空泵作為機(jī)組的前級泵。因?yàn)樾秸婵毡糜写蟮膲嚎s比和寬的工作壓力范圍,雙級旋片式真空泵的工作壓力范圍從大氣壓力至1×10-2Pa,單級旋片式真空泵的工作壓力范圍從大氣壓力至1Pa。即便是單級旋片真空泵作為一級羅茨機(jī)組的前級泵,其極限壓力可達(dá)1×10-1Pa。這類配置由于機(jī)組有較寬的工作壓力范圍,所以經(jīng)濟(jì)性好,使用廣泛。同樣,滑閥式真空泵也是這類配置的前級泵,滑閥式真空泵因其對被抽氣體中含少量雜質(zhì)的敏感性低于旋片式真空泵,故在許多場合優(yōu)于旋片式真空泵作為前級泵配置。
②如果被抽氣體成分帶有腐蝕性或氣體成分會裂解前級真空泵油,或者抽除較低蒸氣壓的氣體,一般前級泵就不能使用旋片式真空泵和滑閥式真空泵,因?yàn)檫@類氣體會對前級泵產(chǎn)生腐蝕,或會產(chǎn)生大量水蒸氣凝結(jié)在前級泵,侵蝕泵油后使前級泵不能正常工作。在這種情況下,選擇水環(huán)式真空泵為前級泵較為合適。一般水環(huán)式真空泵與一級、二級或三級羅茨泵組成的機(jī)組,其極限壓力分別可達(dá)650Pa, 25Pa, 1pa.但是這類使用中有一個值得注意的問題是: 常常遇到被抽的物質(zhì)對環(huán)境有污染,則必須選擇相適合的液體組成循環(huán)使用的封閉液環(huán)式真空泵,同時要配上工作液熱交換冷卻裝置和液環(huán)真空泵出口氣體與液體的分離裝置。
③如果在一個封閉系統(tǒng)中抽除有毒氣體,或是抽除并回收一些潔凈氣體,或者是抽除一個巨大容器中的氣體將其輸送至貯罐中,這類情況,旋片式和滑閥式真空泵及水環(huán)式真空泵均不能作羅茨泵的前級泵,比較理想的是選用氣體循環(huán)冷卻羅茨真空泵。因?yàn)樵摫镁哂懈邏嚎s比及大壓差特性,可直排大氣,大大增加機(jī)組的排氣量。一個二級羅茨泵加三級氣體循環(huán)冷卻羅茨泵的五級機(jī)組,其極限壓力可達(dá)10-1Pa,工作壓力范圍可從大氣壓力至 5×10-1Pa。同時,氣體循環(huán)冷卻羅茨真空泵本身也可作為主抽泵,與水環(huán)真空泵組成機(jī)組,適合于②所述的一些高壓差工況,使真空機(jī)組的可靠性更好。正因?yàn)闅怏w循環(huán)冷卻羅茨泵有這些特點(diǎn),所以在目前羅茨真空泵機(jī)組中的使用越來越普遍。
④如果被抽系統(tǒng)要求提供無油、水蒸氣污染的清潔真空環(huán)境,前級泵則應(yīng)采用干式真空泵,可選擇螺桿式、爪式或活塞式無油真空泵,羅茨泵也應(yīng)選用無油污染的類型。這種配置方案即可解決單純使用干式泵極限真空度低的問題,又能保證有較大的抽速。前級泵的選擇自然還應(yīng)考慮選擇多大的抽速來匹配與主泵羅茨泵的級比,以適應(yīng)被抽容器大小和達(dá)到工作壓力所需時間的要求。
為了獲得在低入口壓力(1~100pa)時的高的抽氣速率,可用一臺羅茨真空泵作為另一臺羅茨真空泵的前級泵組成的三級或四級機(jī)組,此時羅茨真空泵之間的抽速比一般在2~5之間。
選配前級泵的原則如下:
1、要求前級泵造成主泵工作所需的預(yù)真空條件。
2、主泵允許的大排氣壓力下,前級泵必須將主泵所排出的大氣體量及時排走,前級泵的抽速須按照該泵在實(shí)際入口壓力時的實(shí)際抽速。
3、兼作預(yù)抽泵的前級泵要滿足預(yù)抽時間和預(yù)抽真空度的要求。