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            東莞市品雅真空設(shè)備有限公司>>技術(shù)文章>>真空容器中污染物的主要來(lái)源有哪些

            真空容器中污染物的主要來(lái)源有哪些

            閱讀:903        發(fā)布時(shí)間:2020-6-5

            很多真空應(yīng)用中,都需要避免污染,像涉及食品藥品制造,以及電子器件、半導(dǎo)體、光學(xué)器件制造等。那今天螺桿真空泵廠家就與大家一起來(lái)認(rèn)識(shí)下真空容器中污染物的主要來(lái)源有哪些。

             

            真空容器中的污染物主要來(lái)自于加工制造過(guò)程、安裝調(diào)試過(guò)程以及真空原件和環(huán)境的影響,更具體的大致包括以下幾個(gè)方面:

             

            首先是真空容器以及它的內(nèi)部安裝的各種機(jī)構(gòu),都是通過(guò)機(jī)械加工得到。因此這個(gè)過(guò)程中,它們的表面不可避免的會(huì)受到潤(rùn)滑油、冷卻液、焊接的污染,這些是真空容器中污染物的重要來(lái)源之一。

             

            其次是和真空系統(tǒng)選擇的真空設(shè)備有關(guān)。真空容器抽真空中,對(duì)于真空泵的選擇種類很多,像油擴(kuò)散泵、油封式機(jī)械泵、往復(fù)泵、各種干式真空泵等。其中油擴(kuò)散泵、油封泵以及常規(guī)往復(fù)泵,它們的工作介質(zhì)都會(huì)涉及油,因此真空室產(chǎn)生會(huì)難以避免的受到油蒸氣的污染。而就算是干式真空泵,如螺桿真空泵、渦旋真空泵、爪泵、渦輪分子泵等,雖然腔體沒(méi)有油介質(zhì),但大部分齒輪箱、軸承等地方還是存在潤(rùn)滑油脂。即使是使用低蒸氣壓的油脂,極少量的油蒸氣還是有可能返流到真空容器中,因而很難做到杜絕。

             

            第三是各類真空閥門。它們的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)有時(shí)采用油或脂潤(rùn)滑,這是常被人們忽視的污染源。因此有些對(duì)污染敏感的真空應(yīng)用中,真空閥門會(huì)要求采用固體潤(rùn)滑。

             

            第四是真空容器中有時(shí)會(huì)存在有機(jī)涂層,常有各種測(cè)試導(dǎo)線,以及運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的潤(rùn)滑、軸承的潤(rùn)滑,溶氧也是污染源之一。

             

            第五是安裝過(guò)程中,清洗液的殘留物,操作人員的衣著、手跡、毛發(fā)皮屑等會(huì)造成污染,以及使用工具時(shí)帶來(lái)的污染。

             

            第六是材料軋制、存儲(chǔ)、機(jī)加工后產(chǎn)生的氧化層、氮化層未清理,這也是污染源。

             

            第七是真空容器中各種材料本身的解吸與出氣。

            后就是環(huán)境污染物,就是試驗(yàn)樣品存放場(chǎng)地有機(jī)物或無(wú)機(jī)物的污染。

             

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