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干式渦旋真空泵相關(guān)技術(shù)和安全使用問答
Q：渦旋干式真空泵使用注意事項(xiàng)？
A：◇渦旋干式真空設(shè)計(jì)用于抽大氣。所以不要用此泵抽特殊氣體，如易燃?xì)怏w、含國(guó)家特殊化學(xué)品規(guī)定成分的特殊或高濃度強(qiáng)酸強(qiáng)堿性氣體、或半導(dǎo)體工藝中高濃度氣體、有機(jī)溶劑、結(jié)晶氣體等。
◇檢查確定此真空泵安全接地。
◇此泵工作過程中或剛停機(jī)時(shí)不要接觸泵電機(jī)或金屬部件（因?yàn)楣ぷ鲿r(shí)很熱，gao可能達(dá)到70℃）。如確實(shí)需要接觸，采取必要防護(hù)措施防止受傷。
◇未加風(fēng)扇蓋前，不要啟動(dòng)泵。
◇泵工作條件要求：環(huán)境溫度5～35℃。如果超過35℃，可能引起泵或電機(jī)性能下降。
◇渦旋干式真空泵必須與設(shè)計(jì)規(guī)定電源連接。
◇必須安裝電機(jī)保護(hù)開關(guān)。
Q：渦旋干式真空泵電機(jī)沒有熱保護(hù)開關(guān)，電機(jī)鎖死時(shí)不能提供過熱保護(hù)。必須在泵與電源線之間加電機(jī)保護(hù)開關(guān)，否則電機(jī)鎖死時(shí)可能冒煙甚至起火。
◇移動(dòng)泵時(shí)不要握塑料件，否則塑料件可能破損。
◇不要刮碰進(jìn)氣口與排氣口法蘭，以免損壞法蘭口，導(dǎo)致真空度上不去。
如果真空度上不去，更換法蘭。
◇在進(jìn)氣口處裝真空閥。
真空泵停止后進(jìn)氣口處真空度降低，是因?yàn)榕艢饪谔幍拇髿夥抵吝M(jìn)氣口處，不是真空泵的原因。如要保證真空室內(nèi)的真空度，要在真空室與泵之間安裝真空閥。
◇排氣口處要接排氣管，以防灰塵進(jìn)入泵內(nèi)。
Q：渦旋干式真空泵加氣鎮(zhèn)閥時(shí)注意事項(xiàng)？
A：加氣鎮(zhèn)閥主要是為了抽包括水蒸氣在內(nèi)的特殊氣體，保證泵的良好抽氣性能。使用渦旋干式真空泵時(shí)，除上述注意事項(xiàng)外，還要注意：
◇不要用此泵抽腐蝕性氣體
此泵只能抽空氣、氮?dú)夂退魵?。不要用此泵抽腐蝕性氣體，如有機(jī)溶劑、高濃度半導(dǎo)體工藝用氣體、高濃度強(qiáng)酸強(qiáng)堿性氣體等。這些氣體容易使軸承失效。
◇被抽氣體水蒸氣含量必須少于要求值。如果超過此極限，將縮短氣鎮(zhèn)閥壽命
◇加濾網(wǎng)
使用氣鎮(zhèn)閥時(shí)，必須加濾網(wǎng)。否則可能抽進(jìn)灰塵。
◇定期檢查
為了泵正常工作，要對(duì)濾網(wǎng)進(jìn)行定期檢查。否則氣鎮(zhèn)閥不能正常工作。
◇供氣
要保證加適量的氣體使泵高效率工作。
Q：渦旋干式真空泵安裝地點(diǎn)要求？
A：渦旋干式真空泵的安裝應(yīng)滿足下述要求：
①平面放置
②避免陽光直射
③環(huán)境溫度5～35 ℃；濕度90%，或沒有結(jié)露
④通風(fēng)良好
⑤泵附近不得存放化學(xué)品或易燃品
⑥防潮
⑦泵周圍環(huán)境易于對(duì)泵進(jìn)行清理檢驗(yàn)。
Q：渦旋干式真空泵與電源連接的注意事項(xiàng)？
A：◇檢查確認(rèn)此泵電源接地良好。
◇檢查確認(rèn)此泵電源為要求值。
◇在此泵與真空室之間安裝保護(hù)開關(guān)。
Q：渦旋干式真空泵與電源連接步驟？
A：①打開電機(jī)接線盒，將電源線與接線柱連接。
②電源線應(yīng)當(dāng)為達(dá)到或超過直徑1.25毫米四芯電纜。具體參見使用說明書。
③有的渦旋干式真空泵電機(jī)內(nèi)部無熱保護(hù)器，一定要安裝保護(hù)開關(guān)，推薦為額定電流低于10A。具體參見使用說明書。
④確認(rèn)此泵從電機(jī)方向看順時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)。打開進(jìn)氣與排氣口。打開電機(jī)開關(guān)起動(dòng)電機(jī)2-3秒。檢查確定進(jìn)氣口抽氣。如果電源線連接錯(cuò)誤，將從排氣口進(jìn)氣。
Q：渦旋干式真空泵排氣注意事項(xiàng)？
A：◇渦旋干式真空設(shè)計(jì)用于抽大氣不要用此泵抽特殊氣體，如易燃?xì)怏w、含國(guó)家特殊化學(xué)品規(guī)定成分的特殊或高濃度強(qiáng)酸強(qiáng)堿性氣體、或半導(dǎo)體工藝中高濃度氣體、有機(jī)溶劑、結(jié)晶氣體等。
◇不要用此泵抽灰塵。抽灰塵時(shí)，一定加濾網(wǎng)。
◇不要刮碰進(jìn)氣口與排氣口法蘭
以免損壞法蘭口，導(dǎo)致真空度上不去。如果真空度上不去，更換法蘭。
◇在進(jìn)氣口裝進(jìn)氣閥