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一、真空爐結(jié)構(gòu)：
　　真空爐結(jié)構(gòu)一般由主機、爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、供電系統(tǒng)、控溫系統(tǒng)和爐外運輸車等組成。
　　（1）真空爐殼：
　　密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止爐殼受熱后變形和密封材料受熱變質(zhì)，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。
　?。?）真空爐膛：
　　爐膛位于密封爐殼內(nèi)。根據(jù)爐子用途，爐膛內(nèi)部裝有不同類型的加熱元件，如電阻、感應(yīng)線圈、電極和電子槍等。
　　（3）坩堝：
　　熔煉金屬的真空爐爐膛內(nèi)裝有坩堝，有的還裝有自動澆注裝置和裝卸料的機械手等。
　　(4）真空系統(tǒng)：
　　真空爐的真空系統(tǒng)主要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。
　　二、真空爐工作原理：
　　工作原理即通過抽取真空，形成一個幾乎沒有空氣的低壓環(huán)境，然后利用水在低壓（低于大氣壓）低溫沸騰產(chǎn)生蒸汽，通過汽水凝結(jié)換熱方式將熱量輸出的原理工作的。

   三、真空設(shè)備：

從真空獲得上分機械泵、機械泵＋擴散泵、機械泵＋分子泵。

真空爐種類繁多，對真空系統(tǒng)的要求也不盡相同。就真空而言，有低真空、中真空和高真空系統(tǒng)。
1.低真空系統(tǒng)低真空系統(tǒng)適用于真空范圍為2~1333Pa的真空熱處理爐，如預(yù)抽式低真空井式爐。大多數(shù)泵是基于油封的旋轉(zhuǎn)泵。
2.中真空系統(tǒng)適用于真空度為3x10~1.333Pa的真空熱處理爐，中真空系統(tǒng)在真空熱處理爐中應(yīng)用wei廣泛，通常由兩級真空泵機組組成。主泵采用旋轉(zhuǎn)機械泵或滑閥式機械泵，主泵為機械增壓泵（羅慈朋）或油增壓泵的高真空系統(tǒng)

3.高真空系統(tǒng)適用于6.6x 10~1.333x10的真空度。真空熱處理爐Pa系列，如真空退火爐、真空釬焊爐，通常由三級真空泵組成，主泵常用的有油擴散泵、離子泵，泵多采用一級旋轉(zhuǎn)機械泵或旋轉(zhuǎn)活塞泵.

四、應(yīng)用

廣泛用于半導(dǎo)體行業(yè)的電力電子器件、玻封二級管、氣體放電管、磁性材料、熱敏電阻等器件的真空燒結(jié)、封裝、焊接、合金、退火等工藝。

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GVS 20-300: 單級油潤滑旋片式真空泵，20-365 m3/h，10.5-215 cfm
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易于維護 - 合理的轉(zhuǎn)速，低磨損?？梢杂杀ｐB(yǎng)壓縮空氣設(shè)備的同一個工程師完成真空泵的保養(yǎng)。
整個壓力范圍內(nèi)噪音和振動較低
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