分子泵機組MPU-90i的安裝流程與注意事項，可以參考以下內(nèi)容：
安裝流程
1.開箱檢查：雙手用力抬出分子泵機組，檢查設備在運輸過程中有無損壞。
2.準備工作：將設備的電源線接好，并將地線與設備機殼連接。如果是三相供電方式，初次通電時需要觀察機械泵的相序，確保機械泵相序正常。
3.設備安裝：
分子泵機組應安裝在平地上，豎直方向與垂直方向夾角應小于5度。
安裝后要固定腳輪，確保機組穩(wěn)固。
4.連接部位檢查：真空系統(tǒng)各連接部位應密封可靠，確保無泄漏發(fā)生。
5.水路系統(tǒng)檢查：水路系統(tǒng)接頭處應無滴漏，同時確認入口水壓、水溫及水質(zhì)是否滿足要求。
6.氣體排放：建議將機械泵排出的氣體引出室外，以確保工作環(huán)境的安全。
7.電纜安裝：正確插入電纜，并用螺母擰緊，確保連接到位。
8.啟動前檢查：
確認分子泵安裝穩(wěn)妥，電纜線正確連接并鎖緊。
檢查真空度和冷卻水狀況。
進行必要的對中檢查和調(diào)整。
9.啟動機組：按照操作手冊的指示，啟動分子泵機組，并監(jiān)控其運行狀態(tài)。
注意事項
1.安全防護：
在安裝和操作過程中，務必佩戴適當?shù)陌踩雷o裝備，如手套、護目鏡等。
確認防護網(wǎng)已安裝，特殊情況下應定做特殊防護網(wǎng)。
2.振動與沖擊防護：
分子泵振動極小，可直接接于被抽系統(tǒng)。對于高精密儀器的應用（如電子顯微鏡），建議使用隔振器以減少振動。
避免對分子泵產(chǎn)生強烈的沖擊或振動，以防損壞設備。
3.磁場屏蔽：
分子泵在磁場中運轉(zhuǎn)時，應確保徑向和軸向磁場強度均不大于規(guī)定值（如30Gs）。
若磁場強度超標，應使用導磁材料進行屏蔽。
4.電源與電氣連接：
確保電源電壓穩(wěn)定且符合設備要求。
電氣連接應牢固可靠，避免松動或接觸不良。
5.操作與維護：
遵循操作手冊的指示進行操作和維護。
定期檢查真空度、冷卻水狀況以及電纜連接情況。
若發(fā)現(xiàn)異常情況或故障，應立即停機并尋求專業(yè)維修服務。
6.環(huán)境要求：
安裝環(huán)境應符合技術(shù)要求和真空衛(wèi)生要求。
避免將分子泵安裝在高溫、潮濕或腐蝕性氣體環(huán)境中。
7.啟動與停機：
在啟動分子泵前，應確保連接無誤、無泄漏、冷卻和潤滑正常。
停機時，應先給出停機指令，待分子泵減速結(jié)束并停止后，再關閉電源。
分子泵機組MPU-90i的安裝流程包括開箱檢查、準備工作、設備安裝、連接部位檢查、水路系統(tǒng)檢查、氣體排放、電纜安裝、啟動前檢查和啟動機組等步驟。在安裝過程中，應注意安全防護、振動與沖擊防護、磁場屏蔽、電源與電氣連接、操作與維護以及環(huán)境要求等方面的事項。
