廣州善準(zhǔn)科技有限公司真空等離子清洗VP-R系列對(duì)標(biāo)國(guó)際一線廠商，補(bǔ)充國(guó)內(nèi)技術(shù)短板（低溫真空石英腔體等離子清洗裝置），VP-R系列頻率13.56MHz，能對(duì)材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用，滿功率運(yùn)行30分鐘，腔體溫度不高于32℃，不損傷樣品，適用于微流控芯片PDMS鍵合、ITO導(dǎo)電玻璃、石墨烯、纖維、單晶硅片、PET、二氧化硅等幾乎所有材料的PLASMA處理。