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SEM5000X是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡，其分辨率達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設(shè)計、高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）以及鏡筒工藝升級，實現(xiàn)了低電壓分辨率的進(jìn)一步提升。全新設(shè)計的樣品倉，擴(kuò)展接口增加至16個，快速換樣倉最大支持8寸晶圓（最大直徑208 mm），極大擴(kuò)展應(yīng)用范圍。高級掃描模式和自動功能增強(qiáng)，帶來了更強(qiáng)的性能和更好的體驗。