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詳細(xì)介紹
Lamtech激光平面度測(cè)量?jī)x
LAMTECH平面度快速測(cè)量機(jī)，采用掠入射光干涉原理，專注于高精密加工表面平面度快速測(cè)量評(píng)估, 廣泛應(yīng)用于航空航天，汽車工業(yè)噴油嘴行業(yè)，泵、閥門密封件表面，以及光學(xué)工程，激光工程等領(lǐng)域。
TOPOS 100 是一款非接觸式平坦度測(cè)量?jī)x器，用于精密制造表面，具有亞微米精度。 TOPOS 平坦度測(cè)量?jī)x器滿足 客觀工作測(cè)量工具的要求，用于精密部件（例如燃油噴射 系統(tǒng)、泵或閥門）的生產(chǎn)和質(zhì)量控制。
Lamtech激光平面度測(cè)量?jī)x允許對(duì)研磨、 精加工和拋光精密部件進(jìn)行非接觸式平坦度測(cè)量。 TOPOS 干涉儀根據(jù)光的放牧率原理運(yùn)行。 也可以測(cè)量較粗糙的部件的平坦度，光學(xué)平面或菲佐干涉儀沒有更多的條紋圖案。 計(jì)算機(jī)根據(jù)干擾模式計(jì)算測(cè)試對(duì)象的平坦度。 在研磨或研磨部件旁邊也可以測(cè)量拋光部件。 部件可以由多種材料組成： -金屬（鋼，鋁，青銅，銅等） -陶瓷 (Al2O3, 碳化硅, 碳化硅等) -塑料材料 -等 干涉儀可放置在生產(chǎn)線上，靠近加工機(jī)。 在整個(gè)測(cè)量區(qū)域內(nèi)，精度高達(dá) 0.1µm。
平面度檢測(cè)儀技術(shù)參數(shù)：
型 號(hào) | TOPOS 50 | TOPOS 100 | |
測(cè)量范圍(直徑) | 50mm | 100mm | |
參考平面平面度 | 優(yōu)于0.06μm | ||
參考面材料 | 石英玻璃 | ||
靈敏度 | 0.5,1,2或4μm每紋 | ||
精度 | (0.1??0.4)um + 2%x測(cè)量值, 基于靈敏度 | ||
Z軸波動(dòng)范圍 | 低于100um, 表面斜度所限制 | ||
FLTt重復(fù)性 | 優(yōu)于0.01μm1) | ||
分辨率 | 優(yōu)于0.01μm | ||
數(shù)據(jù)采集量 | 300,000點(diǎn) | ||
測(cè)量時(shí)間 | 小于2s | ||
整體尺寸 | 560mm X 300mm X 400mm | 680mm X 440mm X 880mm | |
重量 | 34kg | 80kg | |
應(yīng)用示例：
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