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Quattro SEM為具有環(huán)境真空功能的極靈活、多功能高分辨率掃描電鏡，可以將成像和分析全面性能與環(huán)境模式（ESEM）相結(jié)合，使得樣品研究得以在自然狀態(tài)下進(jìn)行。

Quattro SEM高分辨率掃描電鏡參數(shù)：

發(fā)射源：高穩(wěn)定型肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍

分辨率：

放大倍率：6 ~ 2,500,000×
加速電壓范圍：200V ~ 30kV
探針電流范圍：1pA – 200nA，連續(xù)可調(diào)
X-Ray工作距離：10mm，EDS檢出角35°
樣品室：從左至右為340mm寬的大存儲(chǔ)空間，樣品室可拓展接口數(shù)量12個(gè)，含能譜儀接口3個(gè)（其中2個(gè)處于180°對(duì)角位置）

樣品臺(tái)和樣品：

探測(cè)器系統(tǒng)：

同步檢測(cè)多達(dá)四種信號(hào)，包括

樣品室高真空二次電子探測(cè)器ETD
低真空二次電子探測(cè)器LVD
氣體SED（GSED，用于環(huán)境掃描模式）
樣品室內(nèi)IR-CCD紅外相機(jī)（觀察樣品臺(tái)高度）
可用于樣品導(dǎo)航的彩色光學(xué)相機(jī)Nav-Cam™

控制系統(tǒng)：
操作系統(tǒng)：64為GUI（Windows10）、鍵盤、光學(xué)鼠標(biāo)
圖像顯示：24寸LCD顯示器，WUXGA 1920×1200
定制化的圖像用戶界面，可同時(shí)激活多達(dá)4個(gè)視圖
導(dǎo)航蒙太奇
軟件支持Undo和Redo功能