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詳細(xì)介紹
雅馬拓YSP63FA等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：
可進(jìn)行樣品傳輸系統(tǒng)定制。
操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒。
軟性基板也可以進(jìn)行傳送操作。
傳送速度可在Hi-Low間調(diào)節(jié)。
可通過網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行遠(yuǎn)程操作（選購品）。
提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理
清洗各類基板。
電子部品、材料表面改質(zhì)。
更容易嵌入生產(chǎn)線使用。
可通過操作面板自由切換等離子模式。
雅馬拓YSP63FA等離子清洗機(jī)產(chǎn)品參數(shù)：
型號 | YSP63FA |
模式 | RIE（DP模式選購） |
高頻輸功率 | 600W |
反應(yīng)臺尺寸 | W385×D362mm |
內(nèi)腔尺寸 | W395×D378×H45mm（內(nèi)尺寸） |
反應(yīng)氣體 | 2進(jìn)氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣） |
反應(yīng)氣體流量控制 | 質(zhì)量流量控制器 |
真空泵 | 旋轉(zhuǎn)式真空泵（約500L/min） |
氣體導(dǎo)入口 | 反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個、空氣1個 |
外形尺寸 | W1860×D1100×H1800mm |
其它同類產(chǎn)品如下：
雅馬拓YSP600U等離子清洗儀器：
產(chǎn)品特點(diǎn)：
樣品傳輸系統(tǒng)為模塊式，便于組合。
體積小，節(jié)省空間。
選用小型腔體，反應(yīng)效率高。
更容易嵌入生產(chǎn)線使用。
可通過操作面板自由切換等離子模式。
配備冷卻反應(yīng)臺。
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技術(shù)參數(shù)：
型號 | YSP600U | YSP2KU |
模式 | RIE（DP模式選購） | |
高頻輸功率 | 600W | 2000W |
反應(yīng)臺尺寸 | W300×D300mm | W600×D600mm |
反應(yīng)氣體 | 2進(jìn)氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣） | |
反應(yīng)氣體流量控制 | 質(zhì)量流量控制器 | |
氣體導(dǎo)入口 | 反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個、空氣1個 | |
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