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            技術文章

            TEAC稱重傳感器用于半導體/FPD制造工藝的產品介紹

            閱讀:1302          發(fā)布時間:2023-9-22

            TEAC稱重傳感器用于半導體/FPD制造工藝的產品介紹

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            拉錠

            多晶在石英坩堝中熔化,并在旋轉籽晶棒的同時進行拉晶,
            以形成單晶棒(使用 CZ 法拉晶錠)。

            拉力機用稱重傳感器 TT-XNⅡ / TT-XNⅡ(G)
            拉力機用稱重傳感器
            TT-XNⅡ / TT-XNⅡ(G)
            • 單晶生長稱重傳感器

            • 能夠測量微小負載的兩級式

            • 抗噪音及過載保護功能

            拉力機 TT-XNS / TT-XNS(G) 稱重傳感器
            拉力機
            TT-XNS / TT-XNS(G)稱重傳感器
            • 單晶生長稱重傳感器

            • 過載保護

            拉伸/壓縮型稱重傳感器 TU-PGRH□□N/KN-G
            拉伸/壓縮型稱重傳感器
            TU-PGRH□□N/KN-G
            • 用于拉制大直徑硅片

            • 超高精度

            拉伸/壓縮型稱重傳感器 TU-PGRS□□N/KN-G
            拉伸/壓縮型稱重傳感器
            TU-PGRS□□N/KN-G
            • 用于拉制大直徑硅片

            • 高精準度

            切割錠


            晶圓是通過使用金剛石刀片將錠切割至定厚度而制成的。

            負載測功機/稱重傳感器
            負載測功機/稱重傳感器

            數(shù)顯指示器TD-700T
            數(shù)顯指示器
            TD-700T
            • 標準型

            • 各種保持功能

            • CC-Link

            數(shù)顯指示器TD-9000T
            符合 TEDS 標準的彩色圖形
            按壓/壓裝數(shù)字指示器
            TD-9000T
            • 多功能型

            • 支持 2 個輸入:稱重傳感器 + 位移

            • 以太網/IP

            稱重傳感器信號調節(jié)器TD-SC1
            稱重
            傳感器信號調節(jié)器
            TD-SC1
            • 內置型

            • 豐富的網絡
              (EtherNet/IP?CC-Link?RS-485)

            • 通過PC設置/監(jiān)控

            晶圓拋光

            研磨并拋光晶圓表面。

            拉伸/壓縮型稱重傳感器 TU-NR-C□□KN-G
            拉伸/壓縮型稱重傳感器
            TU-NR-C□□KN-G
            • 薄型氣密結構、緊湊、輕量、
              連接器式

            拉伸/壓縮型稱重傳感器 TU-GR ? KN-G
            拉伸/壓縮型稱重傳感器
            TU-GR ? KN-G
            • 薄型、剪切型、中心孔型

            • 抗偏心/抗疲勞

            數(shù)顯指示器TD-700T
            數(shù)顯指示器
            TD-700T
            • 標準型

            • 各種保持功能

            • CC-Link

            數(shù)顯指示器TD-9000T
            符合 TEDS 標準的彩色圖形
            按壓/壓裝數(shù)字指示器
            TD-9000T
            • 多功能型

            • 支持 2 個輸入:稱重傳感器 + 位移

            • 以太網/IP

            晶圓平坦化 (CMP)

            晶圓的表面經過研磨和拋光,以平整任何不平整的地方。

            拉伸/壓縮型稱重傳感器 TC-NSRSP(T)□□N-G3
            拉伸/壓縮型稱重傳感器
            TC-NSRSP(T)□□N-G3
            • 采用耐彎曲的機器人電纜

            • 通過使用濺射儀
              實現(xiàn)高響應和高穩(wěn)定性。

            數(shù)顯指示器TD-700T
            數(shù)顯指示器
            TD-700T
            • 標準型

            • 各種保持功能

            • CC-Link

            數(shù)顯指示器TD-9000T
            符合 TEDS 標準的彩色圖形
            按壓/壓裝數(shù)字指示器
            TD-9000T
            • 多功能型

            • 支持 2 個輸入:稱重傳感器 + 位移

            • 以太網/IP

            稱重傳感器信號調節(jié)器TD-SC1
            稱重
            傳感器信號調節(jié)器
            TD-SC1
            • 內置型

            • 豐富的網絡
              (EtherNet/IP?CC-Link?RS-485)

            • 通過PC設置/監(jiān)控


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