化工儀器網(wǎng)
技術(shù)文章
fuji超高真空窗TF型產(chǎn)品特點(diǎn)介紹
閱讀：822 發(fā)布時(shí)間：2023-11-15fuji超高真空窗TF型產(chǎn)品特點(diǎn)介紹
它被用作國際熱核實(shí)驗(yàn)堆（ITER）激光引入和測量的真空窗口，正在日本、美國、歐盟、俄羅斯、韓國、中國、印度七極推廣。它還用于高精度傳輸以及加速器相關(guān)應(yīng)用，這是日本原子能機(jī)構(gòu)和我公司共同開發(fā)的產(chǎn)品，作為所有必要實(shí)驗(yàn)和開發(fā)的真空窗口。
特征
高精準(zhǔn)度
a) 由于窗口材料不存在熱變形，因此透射光（激光）可以按窗口材料的預(yù)期傳輸，而不會(huì)發(fā)生偏振、變形或散射。
b) 還可制造表面精度高（特殊規(guī)格）的產(chǎn)品。當(dāng)然，該結(jié)構(gòu)即使在真空狀態(tài)下也能保持精度。但是，根據(jù)窗戶材料類型和法蘭尺寸，可能會(huì)有限制。（我們?cè)谡麄€(gè)有效直徑上擁有 λ/10 的記錄）
高性能
a) AR涂層：整個(gè)有效直徑上的均勻涂層，沒有不均勻或陰影。
b) 由于不使用含有高蒸氣壓金屬Zn的低級(jí)粘合劑，真空容器內(nèi)部不會(huì)因Zn升華而受到污染，窗口表面也不會(huì)起霧。
高功能性
a) 由于不使用鐵磁性金屬或強(qiáng)活性金屬科伐金屬，因此可以在磁場和輻射環(huán)境中最佳使用。
b) 耐壓結(jié)構(gòu)：即使內(nèi)部壓力增加，也不會(huì)發(fā)生泄漏或窗料脫落。標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品的壓差最大為 1 atm，但也可以制造高壓類型。
提交檢驗(yàn)報(bào)告和保修單
其他：帶楔塊（僅限大氣表面）、帶凹凸透鏡、雙面帶邊（最多114型）、特殊法蘭等。
窗口材料類型：CaF 2、BaF 2、MgF 2、ZnSe、Ge、Si、LiF、合成石英、水晶石英、藍(lán)寶石、BK7、KRS-5、Tempax、鉛玻璃等。
規(guī)格 法蘭材質(zhì) 標(biāo)準(zhǔn)：SUS304L / 特殊訂購：SUS316L、Ti等
| 型號(hào)名稱 | D | 時(shí)間 | A | 窗戶材質(zhì)t | ≒長度 |
|---|---|---|---|---|---|
| TF34 | 34 | 10.0 | 12 | 1.5 | 3.0 |
| TFW 34 | 34 | 13.5 | 12 | 1.5 | 7.2 |
| TFH34 | 34 | 13.0 | 12 | 6.0 | 3.0 |
| TF70 | 70 | 12.7 | 33 | 3.0 | 4.0 |
| TFW70 | 70 | 18.5 | 33 | 3.0 | 9.0 |
| TFH70 | 70 | 21.7 | 33 | 12.0 | 4.0 |
| TF114 | 114 | 17.5 | 60 | 4.0 | 6.0 |
| TFW114 | 114 | 21.5 | 60 | 4.0 | 9.0 |
| TFH114 | 114 | 33.5 | 60 | 20.0 | 6.0 |
| TF152 | 152 | 20.0 | 100 | 5.5 | 7.0 |
| TFH152 | 152 | 44.5 | 100 | 30.0 | 7.0 |
| TF203 | 203 | 22.0 | 140 | 8.0 | 8.0 |
（筆記）
W 符號(hào)表示雙邊型。
符號(hào)H表示超高表面精度類型。
“長度"是指從大氣側(cè)法蘭面到窗面的尺寸。
He 泄漏量 <1×10 -10 Pa?/秒（實(shí)際結(jié)果 = 0.1×10 -10 Pa?/秒） 烘烤 <200℃ 但是，根據(jù)窗材料類型、法蘭尺寸等，可能會(huì)有所不同。
產(chǎn)品評(píng)級(jí)和規(guī)格如有更改，恕不另行通知。
特點(diǎn)：
| 金屬密封 | 從小尺寸到超大尺寸 |
| 無熱應(yīng)變 | 無需熱處理工藝組裝，窗口材料內(nèi)部無熱應(yīng)變，可進(jìn)行高精度測量。 |
| 破損預(yù)防機(jī)制 | 窗材料具有彈性，因此，通過法蘭螺栓不平衡緊固，可以抵抗裂縫和泄漏。 |
| 耐壓結(jié)構(gòu) | 耐壓結(jié)構(gòu)：即使腔體側(cè)壓力比大氣側(cè)強(qiáng)，窗材也不會(huì)脫落、不泄漏。 |
| 非磁性、無輻射金屬成分 | 非磁性、無輻射金屬成分：不干擾磁場，琥珀色高輻射環(huán)境。（標(biāo)準(zhǔn)法蘭：SU304，定制：SUS316可用） |
| 氦氣泄漏 | 氦氣泄漏：<1x10-10Pam3/秒 |
| 推薦烘烤<200℃（最高）， 取決于窗戶尺寸和材料 | |
| 涂層 | 可提供多種涂層，窗口先涂層后組裝，無需熱處理，精度高 |
| 對(duì)焊法蘭 | CF標(biāo)準(zhǔn)法蘭（可提供其他標(biāo)準(zhǔn)法蘭） |
| 可定制 | 超大口徑、內(nèi)壓或外壓高壓、高精度拋光、凸凹透鏡、特殊法蘭等。 |
| 為每個(gè)產(chǎn)品發(fā)出檢驗(yàn)表 | H |
真空窗口VX型
特征
超大有效直徑
也可以是φ440mm以上?？膳c反向壓力一起使用。而且，還可以烘烤。然而，在一些情況下，可以使用強(qiáng)制冷卻結(jié)構(gòu)。
窗戶材料可以重新拋光或更換（由我們執(zhí)行）。運(yùn)行成本顯著降低。
排氣量極少
可在短時(shí)間內(nèi)啟動(dòng)至超高真空范圍。
高精準(zhǔn)度
a) 由于窗口材料不存在熱變形，因此透射光（激光）可以透射窗口材料的原始光，而不會(huì)發(fā)生偏振、畸變或散射。
b) 還可制造表面精度高（特殊規(guī)格）的產(chǎn)品。當(dāng)然，該結(jié)構(gòu)即使在真空狀態(tài)下也能保持精度。然而，根據(jù)窗口材料類型和有效直徑，可能存在限制。（我們?cè)谡麄€(gè)有效直徑上都有 λ/10 的記錄。λ/20 也是可能的。）
高性能
a) AR涂層：整個(gè)有效直徑上的均勻涂層，沒有不均勻或陰影。
b) 由于我們不使用含有大量鋅（一種高蒸氣壓金屬）的低級(jí)粘合劑，因此不會(huì)因鋅的升華而污染真空容器內(nèi)部或使窗口表面起霧。
高功能性
a) 由于不使用鐵磁性金屬或強(qiáng)活性金屬科伐金屬，因此可以在磁場和輻射環(huán)境中最佳使用。
b) 耐壓結(jié)構(gòu)：即使內(nèi)部壓力增加，也不會(huì)發(fā)生泄漏或窗料脫落。
抗沖擊性
XYZ/15G/3000cycle，通過（日本原子能研究所測試結(jié)果）
提交檢驗(yàn)報(bào)告和保修單
其他：兩側(cè)帶楔塊、凹凸透鏡、兩側(cè)有棱、特殊法蘭等。
窗戶材料類型：可能受到限制。
規(guī)格 法蘭材質(zhì) 標(biāo)準(zhǔn)：SUS304L / 特殊訂購：SUS316L、Ti等
| 型號(hào)名稱 | D | A |
|---|---|---|
| VX114 | 114 | (48) |
| VX152 | 152 | (74) |
| VX203 | 203 | (100) |
| VX253 | 第253章 | (160) |
| VX305 | 305 | (200) |
| VX356 | 第356章 | (220) |
| VX406 | 406 | (250) |
| VX506 | 506 | (350) |
| VX606 | 606 | (440) |
He泄漏量 <1×10 -10 Pa?/sec (結(jié)果 <2.0× -12 Pa?/sec) 烘烤 <200℃
然而，根據(jù)窗戶材料類型、法蘭尺寸等，它可能會(huì)有所不同。
注：有效直徑、窗口厚度、法蘭厚度等將在會(huì)議上確定。
產(chǎn)品評(píng)級(jí)和規(guī)格如有更改，恕不另行通知。
Ultar 高真空晶體觀察窗
世界上只有一個(gè)具有高性能！
有效直徑可達(dá)Φ440mm以上！！
您也可以將其用作反壓。
在超過 90% 的區(qū)域內(nèi)可實(shí)現(xiàn)超高性能平坦度。
lamda/20 (lamda=633nm) 也可以。注意，法蘭尺寸可能有限。請(qǐng)聯(lián)系我們。
可重新拋光和重新放置（在我們的實(shí)驗(yàn)室中）！
運(yùn)行成本將會(huì)降低。
無熱效應(yīng)??！
由于自身材料采用特殊密封技術(shù)，無需熱組裝工藝，因此透光率高，無偏振和色散。
不均勻光學(xué)鍍膜，沒有任何不均勻現(xiàn)象！！
涂層后，我們?cè)诔叵聦⒋翱诎惭b到法蘭上。（AR、BBAR、導(dǎo)電層等）
無磁無輻射！！
如您所知，可伐材料具有很強(qiáng)的磁性和活化性，我們不使用任何可伐材料，因此您也可以在磁場和輻射場中使用我們的法蘭。
因?yàn)槲覀儾皇褂萌魏魏更c(diǎn)，所以您的腔室不會(huì)受到污染！
周知，鋅是高蒸氣壓金屬，如果法蘭上含有鋅焊點(diǎn)，則不能進(jìn)行烘烤。
沖擊持久穩(wěn)??！
XYZ/15G/3000cycle，通過日本原子能機(jī)構(gòu)測試合格。
即使是大直徑法蘭也可以烘烤??！
因?yàn)槲覀兊姆ㄌm會(huì)自動(dòng)補(bǔ)償熱膨脹差，注意，可能會(huì)采用強(qiáng)制冷卻。