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agc濺射靶材的特點(diǎn)及運(yùn)用示例分析
閱讀：859 發(fā)布時(shí)間：2023-12-11agc濺射靶材的特點(diǎn)及運(yùn)用示例分析
1. 光學(xué)薄膜用靶材
目的
汽車(chē)和住宅用表面處理玻璃的低輻射涂層
顯示膜和玻璃減反射涂層
觸摸屏等光學(xué)調(diào)整膜（折射率匹配膜）
信息電子玻璃用光學(xué)多層膜（CD、DVD等的鏡子）
| 材料 | 產(chǎn)品名稱(chēng) | 目標(biāo)形狀 | 目標(biāo) | 薄膜（氧化膜用） | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 平板 | 圓柱 | 直流濺射 | 特征 | 耐堿性 | 耐酸性 | 耐刮擦 | 其他的 | ||
| 硅基 | SC | ○ | ○ | 高速成膜（>結(jié)晶Si）、 高強(qiáng)度、高導(dǎo)熱率 | ○ | ○ | ○ | n=1.46 無(wú)定形 | |
| 熱噴涂硅 | ○ | ○ | ○ | 穩(wěn)定放電 | ○ | ○ | ○ | n=1.46 無(wú)定形 | |
| 鈮基 | N.B.O. | ○ | ○ 熱噴涂 | ○ | 高密度、 高速成膜（＞Nb） | ○ | ○ | ○ | n= 2.3 無(wú)定形 |
| 鈦基 | TXO | ○ | ○ 熱噴涂 | ○ | 高速成膜（>Ti） | ○ | ○ | ○ | n=2.45 無(wú)定形 |
此處列出的質(zhì)量數(shù)據(jù)僅供參考，并非保證值。關(guān)于下單時(shí)的質(zhì)量保證，我們將另行協(xié)商決定。請(qǐng)注意，列出的質(zhì)量數(shù)據(jù)如有更改，恕不另行通知。
特征
SC
由于其高強(qiáng)度、高導(dǎo)熱性、均勻的結(jié)構(gòu)靶材，實(shí)現(xiàn)了長(zhǎng)期穩(wěn)定放電。
與使用結(jié)晶Si成膜的情況相比，成膜速度提高了20%。
通過(guò)氧化反應(yīng)濺射獲得非晶SiO 2膜。
通過(guò)氧化反應(yīng)濺射獲得的薄膜是無(wú)色且高度透明的。
N.B.O.
成膜速度比金屬鈮成膜時(shí)快3倍以上。
通過(guò)氧化反應(yīng)濺射獲得非晶Nb 2 O 5膜。
通過(guò)氧化反應(yīng)濺射獲得的薄膜是無(wú)色且高度透明的。
TXO
成膜速度比金屬Ti快7倍以上。
通過(guò)氧化反應(yīng)濺射獲得非晶TiO 2膜。
通過(guò)氧化反應(yīng)濺射獲得的薄膜是無(wú)色且高度透明的。
2. 高耐久性保護(hù)膜用靶材/中折射率薄膜用靶材
目的
汽車(chē)、住宅用表面處理玻璃（有色玻璃、熱反射玻璃等）保護(hù)膜
顯示薄膜（觸摸屏等）的防反射涂層
適用于條碼閱讀器和復(fù)印機(jī)頂部玻璃的防刮保護(hù)膜
適用于所有需要耐堿、耐刮傷的薄膜的保護(hù)膜。
| 材料 | 產(chǎn)品名稱(chēng) | 目標(biāo)形狀 | 目標(biāo) | 薄膜（氧化膜用） | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 平板 | 圓柱 | 直流濺射 | 特征 | 耐堿性 | 耐酸性 | 耐刮擦 | 其他的 | ||
| 硅基 | SX | ○ | ○ | 高密度 、低飛弧特性 | ◎ | ◎ | ◎ | n= 1.7 無(wú)定形 | |
| 英石 | ○ | △ 開(kāi)發(fā)中 | ○ | 高密度、 高速成膜（>SX） | ○ | ◎ | ◎ | n=1.7～ 2.0非晶態(tài) | |
此處列出的質(zhì)量數(shù)據(jù)僅供參考，并非保證值。關(guān)于下單時(shí)的質(zhì)量保證，我們將另行協(xié)商決定。請(qǐng)注意，列出的質(zhì)量數(shù)據(jù)如有更改，恕不另行通知。
特征
SX
通過(guò)氧化反應(yīng)濺射獲得非晶膜，該非晶膜平坦且具有低摩擦特性。
通過(guò)氧化反應(yīng)濺射獲得的薄膜是無(wú)色且高度透明的。
通過(guò)氧化反應(yīng)濺射獲得的薄膜具有優(yōu)異的耐刮擦性和耐化學(xué)性。
英石
成膜速度比SX更快。
通過(guò)氧化反應(yīng)濺射獲得非晶膜，該非晶膜平坦且具有低摩擦特性。
通過(guò)氧化反應(yīng)濺射獲得的薄膜是無(wú)色且高度透明的。
通過(guò)氧化反應(yīng)濺射獲得的薄膜具有優(yōu)異的耐刮擦性和耐化學(xué)性。
通過(guò)氧化反應(yīng)濺射獲得的薄膜具有液滴特性。
所得薄膜的折射率可在 1.7 至 2.0 之間變化，具體取決于目標(biāo)組合物。
3. Low-E介電薄膜靶材/中折射率薄膜靶材
目的
建材用Low-E（低輻射）薄膜用介電薄膜
防反射膜等光學(xué)膜用中折射率膜
| 材質(zhì)系統(tǒng) | 產(chǎn)品名稱(chēng) | 目標(biāo)形狀 | 目標(biāo) | 膜質(zhì)量 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 平板 | 圓柱 | DC成膜 | 特征 | |||
| 鋅基 | 深圳 | ○ | ○ | ○ | 合金靶材 Ar膜沉積 | n=2.0 無(wú)定形 |
| AZ | ○ | △ 開(kāi)發(fā)中 | ○ | 合金靶材 Ar膜沉積 | n=2.0 無(wú)定形 | |
此處列出的質(zhì)量數(shù)據(jù)僅供參考，并非保證值。關(guān)于下單時(shí)的質(zhì)量保證，我們將另行協(xié)商決定。請(qǐng)注意，列出的質(zhì)量數(shù)據(jù)如有更改，恕不另行通知。
特征
使用我們的制造方法，圓柱形 SZ 靶材與背襯管實(shí)現(xiàn)了高粘合強(qiáng)度。因此，與傳統(tǒng)的熱噴涂靶相比，可以使用高功率濺射進(jìn)行高速成膜。
可制造總長(zhǎng)3m以上的長(zhǎng)圓柱形靶材。
4、透明導(dǎo)電膜用靶材
目的
環(huán)境及能源玻璃（太陽(yáng)能電池等）用透明電極
顯示玻璃用透明電極
汽車(chē)和住宅玻璃用透明導(dǎo)電膜（熱反射玻璃、電動(dòng)汽車(chē)表面加熱元件等）
纖維、薄膜等抗靜電涂膜
| 材質(zhì)系統(tǒng) | 產(chǎn)品名稱(chēng) | 目標(biāo)形狀 | 目標(biāo) | 膜質(zhì)量 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 平板 | 圓柱 | DC成膜 | 特征 | 電導(dǎo)率 | 耐化學(xué)性 | 其他特性 | ||
| 鋅基 | 廣州市 | ○ | ○ | 高密度燒結(jié)體 Ar成膜 | ○ | × | n=1.9 低溫結(jié)晶膜 | |
| 偶氮 | ○ | △ 開(kāi)發(fā)中 | ○ | 高密度燒結(jié)體 Ar成膜 | ○ | × | n=1.9 低溫結(jié)晶膜 | |
此處列出的質(zhì)量數(shù)據(jù)僅供參考，并非保證值。關(guān)于下單時(shí)的質(zhì)量保證，我們將另行協(xié)商決定。請(qǐng)注意，列出的質(zhì)量數(shù)據(jù)如有更改，恕不另行通知。
特征
相對(duì)密度90%以上的高密度ZnO靶材。
與ITO相比，不易產(chǎn)生結(jié)節(jié)，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的放電。
可在純氬氣氣氛下成膜。
即使在室溫下也可以形成結(jié)晶膜。