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            半導(dǎo)體特殊材料氣體、高純/超高純載氣壓力調(diào)節(jié)器介紹

            閱讀:698          發(fā)布時(shí)間:2024-3-29

            半導(dǎo)體特殊材料氣體、高純/超高純載氣壓力調(diào)節(jié)器介紹


            Excellent Mega系列EX-M-20、EX-M-100(電解拋光品)
            一次壓力:20.0MPa以下/調(diào)整壓力0.1~1.0MPa、最大流量:50?、150?/min?空氣)
            He泄漏值:5X10 -11 Pa·m3/秒以下



            ?EX-M-20
            照片
            ?EX-M-100
            照片

            Mark II系列 EX-20mkⅡ-G1、G2/EX-100mkⅡ-G1、G2
            一次壓力:20.0MPa以下/調(diào)整壓力0.1~1.0MPa、最大流量:50?、150?/min?空氣)
            He泄漏值:1X10 -9/-8 Pa·m3/秒以下



            ?EX-20mkⅡ
            照片
            ?EX-100mkⅡ
            照片

            TD系列EX-20-TD、EX-100-TD(適用于腐蝕性氣體,特殊內(nèi)涂層)
            一次壓力:20.0MPa以下/調(diào)整壓力0.1~1.0MPa、最大流量:50?、150?/min?空氣)
            He泄漏值:1X10 -9 Pa·m3/秒以下



            ?EX-20-TD
            照片
            ?EX-100-TD
            照片

            優(yōu)秀 PM 系列 EX-20-PM、EX-100-PM(僅限面板安裝型號)
            一次壓力:20.0MPa以下/調(diào)整壓力0.1~1.0MPa、最大流量:50?、150?/min?空氣)
            He泄漏值:1X10 -9 Pa·m3/秒以下



            ?EX-20-PM
            照片
            ?EX-100-PM
            照片

            Excellent Mega VC系列EX-M-20-VC(電解拋光品/主體連接部分VCR1/4加工)
            一次壓力:20.0MPa以下/調(diào)整壓力0.1~1.0MPa、最大流量:50?/min?空氣)
            He泄漏值:5X10 -11 Pa·m3/秒以下



            ?EX-M-20-VC
            照片


            Excellent Mark II/VC系列EX-20-VC(主體連接部分VCR1/4加工)
            一次壓力:20.0MPa以下/調(diào)整壓力0.1~1.0MPa、最大流量:50?/min?空氣)
            He泄漏值:1X10 -9 Pa·m3/秒以下



            ?EX-20-VC
            照片




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