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環(huán)境溫濕度對半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中的影響
閱讀：486 發(fā)布時間：2025-1-10環(huán)境溫濕度對半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中的影響
測量氣體中的水蒸氣露點溫度的儀器叫做露點儀。露點儀因所使用的冷卻方法和檢測控制方法不同，可以分為多種類型。這里只介紹熱電制冷自動檢測露層的平衡式精密露點儀在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中的應(yīng)用。
露點儀在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)工藝中起重要監(jiān)測作用。半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)是在
凈化間內(nèi)進(jìn)行的。凈化間規(guī)范往往包括相對濕度（RH）這一項，一年內(nèi)控制點的范圍從35%到65%，精度2%（70℃以下）濕度超標(biāo)會影響產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)計劃的完成。
在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)區(qū)，濕度不穩(wěn)定，會出現(xiàn)很多問題。最典型的問題是烘干期延長，整個處理過程變得難以控制。當(dāng)相對濕度高于35%時，元件易被腐蝕。此外，將顯影液噴在芯片表面時，顯影液迅速揮發(fā)，使芯片表面溫度下降，致使水汽凝結(jié)在芯片表面。凝結(jié)水不但會影響顯影特性，還會吸收到半導(dǎo)體內(nèi)，這將導(dǎo)致膨化及其它質(zhì)量缺陷，還必須增加一些不必要的工藝控制。
特征
特 點
全部在TEKHNE工廠校準(zhǔn) 創(chuàng)新的氧化鋁技術(shù) 測量范圍：-100～+20℃露點 0～2000ppm（選件） 精度：±2℃露點 壓力：10-4Pa～30 MPa TK-100在線式監(jiān)測儀 TK-100傳感器不包含監(jiān)測儀 安裝簡便
簡 便
TEKHNE公司是一家擁有40年露點測量的日本制 造商，生產(chǎn)創(chuàng)新的TK-100系列濕度儀。 測量方便，帶有顯示屏的TK-100在線式濕度儀能 連續(xù)測量，你所需要的是100～240VAC電源和樣氣接 口。此外，你也可以選擇TK-100露點傳感器，單獨使 用4～20mA信號輸出供電18～28VDC。
高 品 質(zhì)
TEKHNE的氧化鋁陶瓷傳感器能保證最佳精度， 快速響應(yīng)以及長期穩(wěn)定性。大多數(shù)先進(jìn)的傳感器技術(shù) 均應(yīng)用于此。 此外，先進(jìn)的微處理器技術(shù)實現(xiàn)全溫度補(bǔ)償，將 處理溫度到露點測量值的影響最小化。通過TK-100傳 感器把-80～+20℃露點輸出轉(zhuǎn)換為穩(wěn)定的和線性的 4～20mA輸出。
靈 活 性
TEKHNE的TK-100系列用于空氣或惰性氣體的露 點測量。把傳感器通過選件取樣座由5/8" UNF或1/8" NPT接入到你的處理線上。1/8 DIN顯示屏可在距離傳 感器1000米遠(yuǎn)處設(shè)置。 處理線的流量必須設(shè)定為1～10NL/分（帶選件取 樣座）或0.5～10m/秒（不帶選件取樣座）溫度范圍 -20～+60℃，壓力可達(dá)30MPa。建議安裝過濾器濾去 灰塵。
主要用途
手套箱內(nèi)的露點控制
干燥機(jī)露點檢查
熱處理爐內(nèi)氣氛控制
潔凈室和干燥室的露點管理
氣體純度控制
天然氣水分管理
半導(dǎo)體制造設(shè)備
有機(jī)EL制造
技術(shù)參數(shù)
TK-100 傳感器
測量范圍 -100～+20 ℃
露點 0～2000ppm（選件）
精度 ±2 ℃露點
模擬輸出 4～20 mA（三線技術(shù)）
供電 12～28 VDC
操作溫度 -20～+60 ℃
操作壓力 10-4Pa～30 MPa 13
TK-100 監(jiān)測儀
顯示器 5位數(shù)字LED
測量范圍 -100～+20 ℃露點
輸出 4～20 mA 報
警繼電器 3個繼電器觸點
操作環(huán)境 0～+50 ℃（35～85%RH）
供電 100～240 VAC, 50/60 Hz
面板開孔 92寬 x 45高 mm