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日本napson定制產(chǎn)品電阻參考晶片：NRW系列
閱讀：163 發(fā)布時間：2020-11-16| 提 供 商 | 秋山科技（東莞）有限公司 | 資料大小 | 200.8KB |
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日本napson定制產(chǎn)品電阻參考晶片：NRW系列
產(chǎn)品特點
NRW系列是標(biāo)準(zhǔn)的硅晶片，已經(jīng)通過電阻測量領(lǐng)xian公司Napson的嚴(yán)格測量標(biāo)準(zhǔn)進行了電阻評估/認(rèn)證。它使用已被中子輻照的高度穩(wěn)定的晶片。
Napson的4探針電阻測量設(shè)備通過電阻標(biāo)準(zhǔn)晶圓（NIST，VLSI）進行校準(zhǔn)，并由以下SEMI標(biāo)準(zhǔn)，日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（JIS）和美國材料測試協(xié)會（ASTM）定義。符合標(biāo)準(zhǔn)。
<符合標(biāo)準(zhǔn)>
[SEMI標(biāo)準(zhǔn)]
SEMI-MF43-99，SEMI-MF374-02，SEMI-MF84-02，SEMI-MF1529-02
[美國測試與材料學(xué)會]
ASTM-F-84-99（SEMI-MF84），ASTM-F-374-00a，ASTM-F-390-11，ASTM-F-1529-97
[日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)]
JIS-H-0602-1995
測量規(guī)格
<通用規(guī)格>
?材質(zhì)：硅
?制造方法：FZ法
?表面處理：包裹
?晶體方向：（1-1-1）±1度
?摻雜：N型（磷）
?晶圓尺寸：Φ100mm（4英寸）
?晶圓厚度：*取決于電阻類型。請參考下表。
<晶圓陣容/規(guī)格>
類型 | 電阻 | 晶圓厚度 | 薄層電阻 |
NRW-1-28 | 28.00±2.00 | 559.00±25.00 | 約500 |
NRW-2-110 | 110.00±11.00 | 580.00±10.00 | 約2000 |
NRW-3-200 | 200.00±12.00 | 675.00±25.00 | 約3000 |
NRW-4-330 | 330.00±25.00 | 675.00±25.00 | 約5000 |
NRW-5-550 | 550.00±50.00 | 450.00±25.00 | 約12000 |