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日本yamamoto-ms電鍍?nèi)芤簯y試設備解析
閱讀：394 發(fā)布時間：2021-6-4| 提 供 商 | 秋山科技（東莞）有限公司 | 資料大小 | 28.2KB |
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日本yamamoto-ms電鍍?nèi)芤簯y試設備解析
通過用傳感器測量基板的應變，實時測量鍍層的內(nèi)應力。
可以通過一次測量測量每個電鍍時間的應力（膜厚）。也可以在已鍍過一次的薄膜上重新鍍時測量應力。可以測量微小的壓力，這是傳統(tǒng)壓力計無法實現(xiàn)的。精密電鍍電源YPP系列的插槽中插入專用的應力計板以供使用。
特征
● 符合JIS H8626 標準。
● 即使在微弱的壓力下也能進行測量。適用于測量薄膜和晶圓等薄弱產(chǎn)品。（從0.5μm以上的膜厚開始可以進行精密測量）
●也可以測量其他方法無法測量的初始應力。
● 適用于精細零件。
● 傳感器獲得的數(shù)據(jù)立即輸入到與電源相連的PC 上，PC 自動計算出應力值，無需任何計算。此外，正在測量的數(shù)據(jù)使用個人計算機實時顯示和累積。
電源及壓力測量板規(guī)格
| 輸入電壓 | AC100-200V ± 10% (50 / 60Hz ± 5%) |
| 輸出電壓/輸出電流 | DC0～15V/0～10A |
| 低分辨率 | 1mA / 10mV / 0.1mC |
| 溫度控制功能 | 1KW（ON/OFF控制/PID控制） |
| 體重 | 8.8KG |
| 支持的操作系統(tǒng) | 與 Windows 8 和 10 兼容 |