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            秋山科技(東莞)有限公司>>測量/計量儀器>>壓力控制器>>AP250 / AP500日本ace適用于半導(dǎo)體制造工藝的壓力控制器

            日本ace適用于半導(dǎo)體制造工藝的壓力控制器

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            • 日本ace適用于半導(dǎo)體制造工藝的壓力控制器

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            具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            • 型號 AP250 / AP500
            • 品牌 其他品牌
            • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
            • 所在地 東莞市

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            更新時間:2024-09-10 09:39:54瀏覽次數(shù):1480

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            產(chǎn)品簡介

            應(yīng)用領(lǐng)域 化工,石油,電子,冶金,制藥    
            日本ace適用于半導(dǎo)體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500
            AP250和AP500是適用于半導(dǎo)體制造工藝等中使用的清潔氣體壓力控制的大流量型控制器,由氣壓控制單元(相當(dāng)于AP100N)和圓頂型調(diào)節(jié)器單元組成。

            詳細(xì)介紹

            日本ace適用于半導(dǎo)體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500

             

            AP250和AP500是適用于半導(dǎo)體制造工藝等中使用的清潔氣體壓力控制的大流量型控制器,由氣壓控制單元(相當(dāng)于AP100N)和圓頂型調(diào)節(jié)器單元組成。

             

             此外,外部安裝有壓力傳感器,來自傳感器的信號輸入到氣壓控制單元,氣壓控制組的閥被開/關(guān)控制,以調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)器中球罩的內(nèi)部壓力自動調(diào)節(jié)以匹配任何設(shè)定的壓力值。通過將流量傳感器安裝到外部,它也可以用作流量控制器。

             

             AP250的最大控制流量為5001 / min,AP500的最大控制流量為2000L / min,兩種類型的最大控制壓力約為600kPa。

             

             壓力接頭與適用于AP250的1/2“ VCR和適用于AP500的3/4” SWAG等效或等同于用于AP500的3/4“ VCR等效。適用于真空清潔氣體,用于導(dǎo)體,惰性氣體,腐蝕性氣體,危險氣體等可以使用。

            日本ace適用于半導(dǎo)體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500

            規(guī)格

            模型AP250AP500
            主要用途對于FPD,燃料電池對于FPD,燃料電池
            目標(biāo)氣體N2,空氣,H2等N2,空氣,H2等
            入口壓力999kPa以下999kPa以下
            耐壓小于1500kPa小于1500kPa
            壓力設(shè)定用顯示設(shè)定裝置設(shè)定用顯示設(shè)定裝置設(shè)定
            控制方式圓頂內(nèi)部的氣動控制圓頂內(nèi)部的氣動控制
            控制壓力0-500kPa0-500kPa
            最大流量500L /分鐘2000L /分鐘
            響應(yīng)時間1秒鐘達到設(shè)定值1秒鐘達到設(shè)定值
            輸入信號0-5 VDC連續(xù)/關(guān)閉0-5 VDC連續(xù)/關(guān)閉
            RS485RS485
            外部傳感器輸入(4至20mA標(biāo)準(zhǔn))(4至20mA標(biāo)準(zhǔn))
            輸出信號報警輸出,RS485報警輸出,RS485
            管件相當(dāng)于1/2英寸的VCR或相當(dāng)于1/2英寸的世偉洛克相當(dāng)于3/4英寸的VCR或相當(dāng)于3/4英寸的世偉洛克
            閥座泄漏10-5Pa ? m3 /秒以下10-5Pa ? m3 /秒以下
            準(zhǔn)確性取決于壓力傳感器的規(guī)格取決于壓力傳感器的規(guī)格
            電源電壓24VDC±10%24VDC±10%
            目前的消費200mA以下200mA以下
            工作溫度0-50℃無凝結(jié)0-50℃無凝結(jié)
            面之間的外部尺寸寬70×深145×高124mm寬80×深178×高170mm
            壓力傳感器無(外部)無(外部)
            顯示設(shè)定裝置是(可以單獨安裝)是(可以單獨安裝)

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