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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

日本富士工業(yè)fuji在線(xiàn)式單組分密度計(jì)FUD-1 Model-13
產(chǎn)品總覽
該模型在保持FUD-1 Model-13的優(yōu)勢(shì)（如可維護(hù)性和高精度在線(xiàn)測(cè)量）的同時(shí)，還具有用于半導(dǎo)體制造過(guò)程的小型單元型振蕩器。

詳細(xì)介紹

日本富士工業(yè)fuji在線(xiàn)式單組分密度計(jì)FUD-1 Model-13

產(chǎn)品總覽

該模型在保持FUD-1 Model-13的優(yōu)勢(shì)（如可維護(hù)性和高精度在線(xiàn)測(cè)量）的同時(shí)，還具有用于半導(dǎo)體制造過(guò)程的小型單元型振蕩器。

單組分密度計(jì)的特點(diǎn)

可以進(jìn)行實(shí)時(shí)濃度測(cè)量，并且可以輕松構(gòu)建濃度管理系統(tǒng)。

配備模擬DC 4-20mA和數(shù)字RS232C作為標(biāo)準(zhǔn)配置
標(biāo)配測(cè)量誤差輸出和報(bào)警輸出
配備自診斷功能和錯(cuò)誤信息顯示為標(biāo)準(zhǔn)配置
緊湊輕便的電池式變送器可以直接安裝在生產(chǎn)線(xiàn)上
由于潤(rùn)濕材料的質(zhì)量以及采用PFA的小產(chǎn)量設(shè)計(jì)，因此對(duì)化學(xué)藥品沒(méi)有影響。?

值得

可以高精度連續(xù)測(cè)量
免維護(hù)，無(wú)需定期調(diào)整/校準(zhǔn)
易于安裝，因?yàn)樵诎惭b過(guò)程中無(wú)需進(jìn)行任何調(diào)整
通過(guò)實(shí)時(shí)輸出輕松反饋到過(guò)程

用途

CMP過(guò)程中的CMP漿料或氧化劑濃度控制
稀釋過(guò)程中各種化學(xué)濃度的管理（H2O2，TMAH，HNO3，H2SO4，HCl等）
清潔過(guò)程中的清潔液濃度控制（HF，NH4OH，KOH，IPA等）
控制蝕刻過(guò)程中的蝕刻液濃度（HF，H2SO4等）

日本富士工業(yè)fuji在線(xiàn)式單組分密度計(jì)FUD-1 Model-13

規(guī)范

格式		FUD-1模型13
測(cè)量參數(shù)		超聲波傳播速度/溫度
顯示		LCD（密度，溫度，聲速/各種參數(shù)）
輸出信號(hào)		模擬DC 4-20mA（可自由設(shè)定濃度值）數(shù)字RS232C（濃度，溫度，聲速，錯(cuò)誤代碼）警報(bào)上下限測(cè)量錯(cuò)誤
電源供應(yīng)		AC100V-240V 50 / 60Hz（也可以使用DC24V）
施工		面板安裝類(lèi)型（符合DIN標(biāo)準(zhǔn)）/板載安裝類(lèi)型（可以選擇安裝在防雨箱中）
環(huán)境溫度		0至50℃RH85％以下（無(wú)冷凝） 0至100℃特殊規(guī)格-10至160℃（100℃寬度）
功能		輸出范圍設(shè)置，警報(bào)輸出設(shè)置，濃度顯示移動(dòng)平均值，濃度顯示偏移和增益設(shè)置功能，自診斷功能，故障保護(hù)功能，異常值消除 RS485輸出（不能與RS232C同時(shí)輸出）
選項(xiàng)		溫度輸出（4-20mA DC）
渠道		高達(dá)10ch
兼容發(fā)射器		型號(hào)13 ： SA-20S26 / SA-20S27 / SA-20M5

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